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厚膜集成电路 加工信息推荐「在线咨询」

印制电路图形的转移所使用的原材料,自出现印制电路以来,原材料的研制与开发科学攻关工作从未停止过。从原始阶段设计采用抗蚀油漆或虫胶漆手工描绘简单的线路图形转移工艺技术的需要。在极化情况下的介质两边,可以储存一定量的电荷,储存电荷的能力用电容量表示,基本单位是法拉(F),由于法拉的单位太大,通常用微法(uF)和微微法(pF)表示。但随着微电子技术的飞速发展,大规模集
厚膜集成电路 加工











印制电路图形的转移所使用的原材料,自出现印制电路以来,原材料的研制与开发科学攻关工作从未停止过。从原始阶段设计采用抗蚀油漆或虫胶漆手工描绘简单的线路图形转移工艺技术的需要。在极化情况下的介质两边,可以储存一定量的电荷,储存电荷的能力用电容量表示,基本单位是法拉(F),由于法拉的单位太大,通常用微法(uF)和微微法(pF)表示。但随着微电子技术的飞速发展,大规模集成电路和超大规模集成电路的广泛应用,要求印制电路板的制造技术,必须适应高密度、、细导线、窄间距及小孔径电路图形转移需要。几十年来,研制与开发出新型的光致抗蚀剂与电路图形转移技术:如光致抗蚀干膜、湿法贴膜技术、电泳光致抗蚀膜和直接成像技术,都逐步地被制造印制电路板商家所采用,使电路图形的转移大幅度的提高。为叙述简便,就印制电路板制造过程中,所采用的电路图形转移原材料,按顺序加以简单论述





光致抗蚀干膜是六十年代后期研制与开发出来的光成像原材料。由主体树脂和光引发剂或光交联剂组成。又根据感光材料的种类的不同,有的增加触变剂、流平剂、填料等。(5)一些外部因素如频繁开关箱式炉门,使测温元件(热电偶)震出,炉内的实际温度远高于设定温度,在高温下电阻丝易被氧化。此种材料的特点是分辨率高、抗蚀能力强、涂布均匀、感光层的厚度可制作成25μm、分辨率达到极限值为0.10mm。工序操作简单易实现自动化生产,适合大批量印制电路板生产。但随着组装密度要求越来越高,印制电路图形的导细更细和间距更窄。采用此类光致抗蚀干膜,要制造出0.10-0.076mm导线宽度就显得更加困难。而且制作出更薄的光致抗蚀干膜,从加工手段分析是不太可能。所以,基干膜本身厚度与涂覆尺寸的收缩限制再提高是很困难的

其电路图形的转移采用上述任何原材料都无法达到其技术指标。因此研制与开发更新型的光致抗蚀剂-阳极法电沉积光致抗蚀剂(ED法)其基本原理是将水溶性的有机酸化合物等溶于槽液内,形成带有正、负荷的有机树脂团,而把基板铜箔作为一个极性(类似电镀一样)进行“电镀”即电泳,在铜的表面形成5-30μm光致抗蚀膜层,是可控制的。电位器结构图图4调光台灯电路(2)直流稳压电源电路直流稳压电源电路如图5所示。其分辨率可达到0.05-0.03mm。这种电路图形转移材料是很有发展前途的工艺方法。当然任何新型有图形转移材料都有它的局限性,随着高科技的发展还会研制与开发更适合更佳的原材料。


v液体光致抗蚀剂感光的有效波长为300—400nm,因此对干膜和液体光致阻焊剂进行曝

光的设备亦可适用于湿膜曝光,曝光量100—300mJ/平方里米。

v

因为烘烤后膜层的硬度还不足1H,因此曝光对位时需特别小心,以防划伤。虽对湿膜适用

的曝光量范围较宽,但为了增加膜层的抗蚀和抗电镀能力,以取高限曝光为宜。其感光速度与干膜相比要慢得多,所以要使用高功率曝光机。


当曝光过度时,正相导线图形易形成散光侧蚀,造成线宽减小,反之负相导线图形形成散 光扩大,线宽增加。当曝光不足时,膜层上出现、砂眼等缺陷。
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