热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。由于石墨材料本身所具有的多孔性和可渗透性,各层隔热材料之间不需要预留额外的空间。单晶石墨热场加工
石墨热场主要由三种材料组成:特种石墨用来
单晶石墨热场加工
热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。由于石墨材料本身所具有的多孔性和可渗透性,各层隔热材料之间不需要预留额外的空间。单晶石墨热场加工

石墨热场主要由三种材料组成:特种石墨用来做加热器、石墨电极、石墨坩埚、DS块、支撑杆、进气管等零部件。石墨热场是多晶硅铸锭炉的心脏、其内装石墨加热器、隔热层、坩埚和硅料等。多晶硅工艺生产过程中多晶硅铸锭炉加热室的结构设计显得至关重要。单晶炉用石墨热场系统简介:热系统长期使用在高温下,所以要求石墨材质结构致密、坚固、、变形小、无空洞、无裂纹、金属杂质含量少。单晶石墨热场加工

石墨热场系统多用于单晶或者多晶热场中,。由于在行业中的等静压石墨的密度、硬度、抗压度都优于其他金属材质,具有耐高温、耐高压、耐腐蚀、良好的导电性、稳定性等优点,在石墨热场系统中,大大小小的石墨加工件好多种,我们常见的有石墨加热器、石墨坩埚、石墨托盘、石墨上中下保温桶 石墨护盘 石墨电极 石墨中轴、石墨电极套、石墨紧固件等,当然这些只是其中的一部分。热场承载部件根据炉体的形状,热场承载部件通常由一个或多个圆形钢环组成,材料通常采用不锈钢而不是普通的碳钢,不锈钢虽然使成本有所增加,但是却大大增加了其性。单晶石墨热场加工

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