超精密零件加工方法的特点：对外表层物质去除或添加的量能够作极细微的控制。此外还把一些协同工作的零件组成的零件组合体称为部件或组件（如联轴器，减速器等）。但是要获得超精密零件加工精度，仍有赖于精密的加工设备和准确的克制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版即使采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）举行曝射，使光致抗蚀剂的原子在
CNC加工治具
超精密零件加工方法的特点：对外表层物质去除或添加的量能够作极细微的控制。此外还把一些协同工作的零件组成的零件组合体称为部件或组件（如联轴器，减速器等）。但是要获得超精密零件加工精度，仍有赖于精密的加工设备和准确的克制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版即使采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）举行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版必要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。
超精密零件加工精度以纳米，甚至后面以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，超精密零件切削加工方法已不能适应，必要借助特种精密零件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。五轴零件加工具有高1效率、的特性，工件一次性便可以完成复杂的加工过程，能够加工的零件有汽轮机转子、大型柴油机曲轴、船用螺旋桨、重型发电机转子等，是目前广泛使用的一种加工模式。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
国内机械零件加工行业的现状和发展趋势：由于近两年市场较快复苏和零部件产能恢复的相对滞后，零部件作为行业紧缺资源得到了整机企业的高度重视，谁掌握了零部件，谁就拥有了市场发展主动权。但若超过了合理的预紧量，会使轴承磨损和发热量增加，寿命缩短，轴承承载能力和极限转速下降。因此，虽然当前行业低迷，但考虑到未来发展，整机企业纷纷加强了供应链的维护与建设，增强整零的战略协作。为了克服行业经济波动对零部件企业生产经营带来的风险和影响，发挥装备优势，零部件企业近年开始向相关机械行业零部件加工领域进行多元化拓展。
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