氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择
今天科仪的小编就和大家来分享一下氦质谱检漏仪对示漏气体有哪些要求，希望对您有所帮助！
(1)无害，不能对人体或环境造成伤害;
(2)质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝;
(3)化学性质稳定，不会引起化学反应和易1燃易1爆;
(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减
充气柜真空箱测漏系统
氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择
今天科仪的小编就和大家来分享一下氦质谱检漏仪对示漏气体有哪些要求，希望对您有所帮助！
(1)无害，不能对人体或环境造成伤害;
(2)质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝;
(3)化学性质稳定，不会引起化学反应和易1燃易1爆;
(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。
氦质谱试漏仪工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器．其灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，轨道半径
R ——离于偏转轨道半径（cm） B ——磁场强度（T）
M/z ——离子的质（量）／（电）荷比（正整数）
U ——离子加速电压（V）
由上式可知，当 R、B 为定值时，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏。
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