广州苏盈电子科技-氧气MEMS流量测量
流量计转换器中储存了60多种常规气体比热转换系数，设置为基体单一洁净气体。但在现场实际测量中，介质纯度并不那么高。虽然流量计的设计精度没有下降，空气流量计是将吸入的空气流量转换成电信号的仪器。空气流量计的优点是压力损失小，可测流量范围大。空气流量计的流量与流量之比一般在20:1以上，适用的工业管径范围宽，可达3m，输出信号与被测流量线
氧气MEMS流量测量
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流量计转换器中储存了60多种常规气体比热转换系数，设置为基体单一洁净气体。但在现场实际测量中，介质纯度并不那么高。虽然流量计的设计精度没有下降，空气流量计是将吸入的空气流量转换成电信号的仪器。空气流量计的优点是压力损失小，可测流量范围大。空气流量计的流量与流量之比一般在20:1以上，适用的工业管径范围宽，可达3m，输出信号与被测流量线性，精度高，热式气体质量流量计由于自身独有的优良特性正被越来越多的用户认可和使用，现已应用在许多气体流量测量场合。
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热式气体质量流量计的起源是来自于热线式风速计。铂电热丝的温度与流体流速的变化有一个比例关系：流速越快
气体分子与加热壁接触完成热传导而带走探针上的热量。
热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右；用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可；用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。
被测量气体组分变化较大的场所，因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差。
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对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量。
对于热分布式TMF，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，必须定期清洗；对细管型仪表更有易堵塞的缺点，一般情况下不能使用。空气流量计的优点是压力损失小，可测流量范围大。空气流量计的流量与流量之比一般在20:1以上，适用的工业管径范围宽，可达3m，热式质量流量计广泛应用于环保和工业中。热式质量流量计一般在测量气体时必须是干燥的气体，不能含有水分。流体可能产生的沉积、结垢和凝结会影响仪器的性能。
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不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右；用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可；用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。被测量气体组分变化较大的场所，因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差。以及固体致冷中固体蒸发等累积量和阀门制造中泄漏量的测量等。在气体色谱仪和气体分析仪等分析仪器上，用于监控取样气体量。分流型热分布式仪表应用于30~50mm以上管径时，通常在主流管道上装孔板等节流装置或均速管，分流部分气体到流量传感器进行测量。
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有些仪表只要安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整。然而有些型号仪表对安装姿势具有敏感性，大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。例如LDG-□DB系列为减少环境气氛对流传热影响，只能水平安装，水平度允差±20。应用于高压气体时流量传感器则宁可选择水平安装，因为这样便于做到调零的零偏置。通常在主流管道上装孔板等节流装置或均速管，分流部分气体到流量传感器进行测量。该仪器通过恒温差停止测量气体的质量流量。热气体质量流量计有很多优点。毕竟它们的体积比较小，装置也很方便，测量也很准确。
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虽然流量计的设计精度没有下降，但测量值可能与实际值有一定的偏差，这也是为什么热气体质量流量计适合测量干气体的原因；介质温度是热气体质量流量计的一大难点。工作时，导致传感器灵敏度降低，终影响了测量精度。“湿”传感器的填充物由于与速度传感器的热膨胀系数不同，随着使用时间的加长会产生老化、龟裂等现象，终会导致传感器的测量精度超差，且难以维持长期精度。热气体质量流量计可用于测量介质。热气体质量流量计是一种用于测量各种气体流量的仪器，不仅具有测量精度高、稳定性好的优点，而且在长期使用中可以提高企业的使用成本。
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价格相较于科里奥利质量流量计便宜很多。量程比窄是孔板流量计的一大缺点，但是近年来蓬勃发展双量程孔板流量计，能将其量程比扩大到33倍，而且达到1.0％不确定度，从而弥补了该缺陷。高纯气体的纯度极高，组分的变化完全可以忽略不计，因此，气体的密度除了受温度、压力及压缩系数影响之外，无其他因素。即使质量流速低到0.1Nm/s都有很好的线性。此外还具有响应的能力。恒功率原理可以检测较高的流速变化，在大流速应用场合有非常好的表现力，但低流速特性不如恒温差，其次响应时间相对于恒温差较差。
热式气体质量流量计大都采用开路的负压空气标定，然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如气、二氧化碳、氧气、氢气、氨气等等。修正标定必然导致测量精度不能保证，恒温差原理具有非常好的的低流量特性，即使质量流速低到0.1Nm/s都有很好的线性。此低压标定后的表应用在高压工况，空气介质标定后的表应用在其他气体介质，测量精度无法保证。然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如气、二氧化碳、氧气、氢气、氨气等等。
浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安装姿势影响。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响，使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得测量,热气体质量流量计是一种用于测量各种气体流量的仪器，不仅具有测量精度高、稳定性好的优点，而且在长期使用中可以提高企业的使用成本。使用空气流量计时，通过过流式流量计推动涡轮叶片转动。叶片转速与流过空气流量计的气量成正比。流量计口安装有一特殊设计的导流架，随着流量的增大，对进入流量计的气流进行加速。采用导向架可以消除涡流、非对称流等潜在流体扰动。同时，推动涡轮叶片的动力增加。
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利用流动流体传递热量改变测量管壁温度分布的热传导分布效应的热分布式流量计曾称量热式;2)利用热消散（冷却）效应的金氏定律。又由于结构上检测元件伸入测量管内，也称浸入型或侵入型有些在使用时从管外插入工艺管内的仪表称作插入式。
TMF无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小；带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管
