真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分
真空泵公司
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
真空泵卡住无法启动的处理方法
现在真空泵被广泛的应用于很多领域,使用寿命长,投资成本低等优点,对于产品性能要求比较高,这对于施工的技术要求提高了。下面咱们一起了解下关于真空泵卡住无法启动的处理方法有哪些吧。
真空泵使用过程中经常卡住,为了避免这个问题的发生,真空泵水垢多了会卡住泵无法正常使用,还会造成机封和轴承的损坏。通过清理水垢,更换机封,轴承,阀板,调整间隙后该真空泵可以正常使用了,抽气能力也大大提高甚至超过刚买来时的性能。
真空泵如何调节供水量
随着真空泵的使用率愈来愈广泛,在设备使用全过程中挑选合适的操作方式,才可以达到更强的使用效果,为了更好的应用,下面咱们一起了解下真空泵调节供水量的操作方法有哪些吧。
当水环真空泵启动操作的整个过程中,可以说是不断供水,使其压力平衡,并且有着充足的水。由于真空泵的供水量有一定的范围,为了获得标准供水量,节约用水可按下程序调节供水阀。当水环真空泵正常运转后,适当打开供水阀,然后观察入口真空表压力。慢慢关小供水阀得开度,当真空表指针开始波动或下降时,这时的供水量已经不够,重新慢慢打开供水阀门,当真空表指针重新稳定时,这时的供水量为标准供水。
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