厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修工程师团队组成，公司提供国外及国内厂家生产的真空泵，检漏仪，分子泵，扩散泵，水环真空泵，螺杆真空泵，罗茨泵，真空测量，真空泵油及其备品备件。
散泵是目前获得高真空的、主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。
影响油扩散泵性能的因素如下。
1、油扩散泵的返流。
2、
半导体真空泵维修
厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修工程师团队组成，公司提供国外及国内厂家生产的真空泵，检漏仪，分子泵，扩散泵，水环真空泵，螺杆真空泵，罗茨泵，真空测量，真空泵油及其备品备件。
散泵是目前获得高真空的、主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。
影响油扩散泵性能的因素如下。
1、油扩散泵的返流。
2、气体分子的反扩散。
3、扩散泵油的裂化分解，一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001Pa左右)，受热稳定性好，不易被氧化，分子量大的高沸点的液体，如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。
4、泵清洗不干净，污染物质留在泵内并重复循环，影响其真空度。
扩散泵系统的压强不稳定的原因，有内部和外部之分。泵外的原因有：①来自橡胶垫圈的气泡；②从障板上滴落下的泵油；③高的前级耐压；④阱除霜；⑤阱内冷冻层的。泵内的原因有：①泵油爆沸或沸腾不稳定；②在导流管外部油的沸腾；③轻气体的低压缩比；④喷咀内的液滴；⑤顶喷咀变冷（蒸汽冷凝）；⑥锅炉附近泄漏，泵体要检漏。
利用水冷挡油帽，使泵的抽速稍有损失外，可使返油率降低。对于许多应用场合是允许的。若在系统附加些管道、阀门和弯管，可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光学密闭的障板，可限制主要返流，但使泵的抽速约下降50%。次要的返流（即冷凝在表面上的泵油迁移和再蒸发是表面温度和泵油蒸汽压的函数，到达真空室的这种返流量取决于设置在泵与真空室之间的冷阱的几何形状和温度，常用液氮（ 77K）冷阱来捕集油分子。因此真空室的压力明显地泵油的蒸汽压。障板或冷阱不仅必须光学密闭，而且还必须使进入障板或冷阱的油分子与冷面少碰撞一次。对于使用吸附剂（如沸石）的障板，为避免油分子直线飞行，要设置交错的吸附剂托盘。沸石是一种含有直径比气体分子直径稍大的微孔物质。1盎司（ 28.35g）沸石内部约有5英亩吸附面积，在小型超高真空系统中，使用分子吸附剂障板是有效的。因为在低压下，在几个星期内它能连续地吸附碳氢化合物和其它气体，并不需要液氮。
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