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广东半导体氦检漏服务咨询客服「科创真空」

企业视频展播,请点击播放视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司 氦气检漏是怎样操作呢? 任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况,某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系,但是在半导体器件、集成电路等重要电气设备及仪器中,良好的密封才能决定仪器的正常使用,所以检漏十分重要!市面上有各种检漏仪器,常见的载气有氮气、氢气、氦气等。充注检漏气体前,试件必须抽空为正确试漏,在
半导体氦检漏服务
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






氦气检漏是怎样操作呢?

任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况,某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系,但是在半导体器件、集成电路等重要电气设备及仪器中,良好的密封才能决定仪器的正常使用,所以检漏十分重要!市面上有各种检漏仪器,常见的载气有氮气、氢气、氦气等。充注检漏气体前,试件必须抽空为正确试漏,在充注检漏气体前将试件预抽空是完全必要的,特别是对几何形状长和窄的试件尤为重要。氦气检漏大家想必都听说过,那么氦气检漏是怎样的呢?氦气检漏是如何操作的呢?

在设备和厂房当中,常常有一些管道等连接的部位,这些地方的封接处可能存在肉眼难以察觉的细小孔洞,在使用时如果不注意就会导致泄露,从而造成事故。其中正压吸枪法采用检漏仪吸枪对被检产品外表面进行扫描探查,可以实现漏孔的。在这 些地方氦气怎么检漏?利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体,氦气在自然状态下会向上垂直扩散,在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。

对于一些的细小电子元件,氦气怎么检漏呢?将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。例如,径向轴封件,这种径向轴封件仅在一个方向有密封作用,相反方向将出现漏泄。在压力的作用下,如果这些元件存在漏点,必然会有氦气通过 这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后,再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。看到这里大家得注意,氦气的价格不菲,进行一次氦气检漏的费用自然不低。

氦气怎么检漏,氦气检漏就是利用了氦气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中,利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的氦气。因为氦原子的尺寸很小,容易穿过小洞而进入到管壳内部,所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞(即能够检测出漏气速率约为1011~1012cm3/sec的小洞),灵敏度可与性检漏方法匹敌,但要比性检漏方法简便。检测时首先探测到氦气的 ,得到氦气的水含量,再利用色谱仪计算出氢气、氧气、C02气体等杂质。氦检漏有两种工艺,一种是背压法,另一种则是真空箱法。










氦质谱检漏用氦气的选择



氦气是一种无色、无味的隋性气体。利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体,氦气在自然状态下会向上垂直扩散,在被检测的管道中注入氦气。相对分子质量为4.003,分子直径为2.18×10-10m,分子的质量为3.65×10-27kg,在标准状态下的密度为0.1769kg/m3,临界温度为5.25K,临界压力为2.26×105Pa,1atm压力下的沸点为4.214K,熔点为0.9K,三相点温度为2.186K,三相点压力为51.1×10-2Pa,在标准状态下的热导率为510.79J/(m·h·K),在标准状态下的定压比热为5233J/(kg·K),在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5Pa·s,1L液氦气化为标准状态下的氦气体积为700L。









氦泄漏检测应用

生产零件的质量控制使用氦检漏仪的组件有助于确保生产过程的完整性。典型的例子包括:密封包装、阀门、歧管、密封件、真空容器和系统、、高纯度管道、制动管路、燃油管路、液压管路、制冷组件、散热器、热交换器、冷凝



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