洁净室检测压差标准要求
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差，应不小于5Pa。
(2)洁净室(区)与室外的静压差，不应小于 10Pa。
(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度
洁净度设备
洁净室检测压差标准要求
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差，应不小于5Pa。
(2)洁净室(区)与室外的静压差，不应小于 10Pa。
(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
(4)若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
洁净室检测仪器的选用
尽管对净化车间内的洁净度的测量，可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但目前用得的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量，并且可以直接显示瞬时的含尘浓度，也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量，使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。
不同级别相邻洁净室间检测的压差
防止从相邻的洁净度较低的区域向洁净室传播污染的主要方法是:维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况，不同级别相邻房间的正压值约为1~lPa。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差,目的是当房间的门处于关闭情况时通过缝隙的气流流向是由别洁净室流向低级别洁净室、由低级别洁净室流向走廊和服务区，再流向室外，这样就可减少室外向服务区、服务区向低级别洁净室，低级别洁净室向别洁净室传播空气中的悬浮污染物。
洁净室各类检测
1．温湿度检验:①使用温湿度计测试时，距地板高度约1.2M,用温湿度计于测试，约每9M2测定一点，每点之测定时间约5秒;②如使用温湿度记录器测试时﹐需于选定之测试点做24小时之连续测试。
2．噪音检验:距地板约1.2M，用噪音计于测测试，测数以每9M为一点，每点测定时间5秒。
3．不管气流为层流．乱流或混合式流，于工程完成后之状（ASBUILT)各项目大部分均须列入检验，但在作业状态则有所选择。
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