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如何提高流量控制器的准确度?
提高气体质量流量控制器实用准确度的措施为:
1.针对气体质量流量控制器的实际工艺参数,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体质量流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。
2.把好气体质量流量控制器的安装环节,减少或消除机械
电子气体流量计
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视频作者:厚礼博精密仪器(北京)有限公司
如何提高流量控制器的准确度?
提高气体质量流量控制器实用准确度的措施为:
1.针对气体质量流量控制器的实际工艺参数,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体质量流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。
2.把好气体质量流量控制器的安装环节,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
3.考虑工艺压力、温度等对气体质量流量控制器测量准确度的影响。
4.把好气体质量流量控制器的投用关。
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流量控制器
越来越多的朋友对气体质量流量计﹑质量流量控制器产生了浓厚的兴趣。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。二、温度影响用于加气机的CMF工作温度远室温,温度影响必须考虑。
怎样选择流量显示仪?
我们的流量显示仪非常丰富,可供用户选择的余地很大。
我们有单通道(配接一台MFM/MFC)和多通道(配接多台MFM/MFC)产品;多通道产品中又有共用显示和分别显示之分(前者体积较小,价格稍便宜,但显示需切换;后者体积较大,但显示直观);有台式﹑仪表式﹑和上架机箱式;有输入输出只能是电压信号的,也有电压和电流信号都行的;多数产品使用交流220V电源,也有产品可使用交流110V电源;有MFC和MFM都能配的,也有单配MFM的。与热式原理不同,ALICAT质量流量计、质量流量控制器采用层流压差技术,依托专利的层流片结构将气体由湍流转为层流运动,通过测量层流片两端气体压力差的方法来测量流量。
还有流量积算仪可进行瞬时流量和累积流量的显示。
将流量显示仪安装在机柜上的用户,请注意安装的开孔尺寸。
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