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洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室检测压差的仪器

1.曲管压差计是一种既简单而压差测值适应范围又相对较宽的液体微压计。它利用液体管的曲率变化替代斜管压差计的倾角变化，以便于在较宽的范围内测定微压差，而构造较为简单。当测定的微压差较小时，恰处于曲管斜率较小的直管段。随着被测压差的增大，被测值显示在曲率变化的曲管段。被测压差更大时，被测值将显示在斜率很大的直管段上。常将它挂在洁净室墙上或空气处理机组靠近空气过滤器的外壁上，以监测洁净室内外或空气过滤器前后的静压差。

2.弹性气压计是利用物体弹性制造的气压计。弹性气压计种类繁多，应用范围非常广泛。通过测定与齿轮或磁链相连的指针因隔膜位移而偏转的距离，来测量两个区域的空气压差。弹或膜片压力计属于机械式压差计。因存在压差使弹簧管、弹变形或膜片位移，根据其变形量、位移量与所测压力差存在的函数关系为原理制成。通过杠杆机构，将变形量传递给指针，或通过磁性变化将膜片位移量传递给指针，以指示压差量。弹性压力表工作原理是通过表内的敏感元件的弹性形变作为测量的基础，再由表内机芯的传动机构将压力形变传导至指针， 引起指针转动来显示压力。图 2-38 给出了弹簧管、弹压力计工作原理图和某种通过磁性传递隔膜变化来指示压力的微压计外形。

风量罩检测洁净室风量的流程

1 打开风量仪电源，将风量仪倒扣在地板上，在无风地点进行风量仪校零的工作，上方如有强烈气流需要进行遮挡。观察风量仪是否在零位。如不在零位则需要进行零位校准。

2 按屏幕上的测量键进入测量房间号码的输入。输入完再次按测量键进入测量界面。

3 复零校准结束之后，直接将风量罩的开口完全罩住过滤器或者散流器，并检查是否存在泄漏的情况。风量罩的接触面要是平面，以防止旁通气流和不准确读数。

4 查看风量仪的读数是否超过风量仪的大量程。如果超过量程则需要更换更大量程的风量仪。

5 稳定 10s 后即可读取风量仪上的数值，并记录。测量完毕之后，关闭电源即可。

6 仪器会自动保存测量数据，出现不明原因导致的数据可以按屏幕上的清除键可以清除当前数据。