工作区空态或静态条件下的空气洁净度测定
测点布置在工作区内选择具有代表性的测点。同时为了便于对空气洁净系统的洁净效果进行技术分析,还应在回风口、走廊及室外布置测点。工作区测点的布置一般距离地面0.8~1m为宜。认为需要布置测点的其他部位.水平单向流洁净室的测点应布置在一工作区内.回风口的测点布置﹑
回风口的测点布置:在有代表性的回风口处.
走廊的测点布置:走廊
洁净度检测报价
工作区空态或静态条件下的空气洁净度测定
测点布置在工作区内选择具有代表性的测点。同时为了便于对空气洁净系统的洁净效果进行技术分析,还应在回风口、走廊及室外布置测点。工作区测点的布置一般距离地面0.8~1m为宜。认为需要布置测点的其他部位.水平单向流洁净室的测点应布置在一工作区内.回风口的测点布置﹑
回风口的测点布置:在有代表性的回风口处.
走廊的测点布置:走廊的测点应布置在走廊的中段距地面lm处.
室外的测点布置:室外的测点应布置在系统的新风口或大门口距地面1m 以上具有代表性的部位.
洁净室检测测试规则
1.温度湿度,要求与生产及工艺相适应(温度18~26℃,相对湿度45~65%为宜)
2.压差洁净度级别不同的洁净室(区)之间压差>5Pa,洁净区与非洁净区之间压差≥10Pa。
3.静态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态,生产设备已安装,室内没有生产人员的测试。
4.动态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态,生产设备及生产人员等已处于正常生产状态下的测试。
5.静态测试时,室内人员应不超过2人。测试记录和报告中应标明所测试的状态。
6.测试状态:静态测试和动态测试
洁净室检测静电检测
一、测试目的,静电问题不是只有半导体业才有,其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电,就会变成非常难处理的问题,因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面,若是物体表面带有静电,就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量,依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。
二、 测试程序,于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处,测量该位置之空气中正离子与负离子的含量,单位是每立方厘米离子数。测量点数: 10 个,或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。
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