洁净室属于人造的环境,里面含有的粒子远一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集
净化洁净室厂家
洁净室属于人造的环境,里面含有的粒子远一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集成电路制造必不能少的因素。
3微米的有效率达到99。998%,HEPA网的特点是空气可以通过,但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成,形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。洁净室施工及验收规范:一个建设项目:在清洁,干净的铝合金门窗紧闭的门分钟彩钢门双关着门。光门,良好刚性,良好的密封能力,该产品的良好的综合性能,表面,光滑,耐腐蚀,容易灰尘,优雅的外观,葫芦柔性,,具有噪声,发热,火灾和其它优点。根据用户要求设计,制造规格。
洁净室噪音控制FFU的风机一般为几台甚至几十台并联使用,当设计时要考虑FFU噪音的叠加,保证《洁净室厂房设计规范GB0073-2001》中明确规定“洁净室内的噪音级(空态),非单向流洁净室不应大于60dB,单向流、混合流洁净室不应大于65dB”的要求。因此在选择风机时zui好选择、压出式、直驱后径向叶片风机,这样可以降低整体噪音。
洁净室FFU控制方式的选择多档开关控制系统:此系统只包括FFU自带的一个调速开关和一个电源开关。由于控制元件为FFU自带,分布在洁净室吊顶内的各个位置,工作人员必须在现场通过拨挡开关来调节FFU,控制起来极不方便,而且FFU的风速可调范围有限,于几档。采用多档开关控制方式优点是控制简单、成本低,但存在许多缺陷,比如能耗大、不能平滑调速、没有反馈信号、不能实现灵活的组制等。
(作者: 来源:)