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广州Agilent分子泵维修服务「潽拓光电」

广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修服务 滑阀式真空泵市场   国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵,但是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国外各真空厂都在寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场,必须进一步降低泵的振动噪声,喷油和漏油,提高滑阀泵长期运行的可靠性。 广州潽拓光电
广州Agilent分子泵维修服务







广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修服务




滑阀式真空泵市场

  国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵,但是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国外各真空厂都在寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场,必须进一步降低泵的振动噪声,喷油和漏油,提高滑阀泵长期运行的可靠性。






广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修服务维修问题




分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?

  答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要仪器和特定的测试环境

分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?

  答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是佳方式?

  答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Poff”?

  答:原因:电压低








气载、热气体、突变气载

  a 引起问题:温度升高;动静片变形;转子上移;润滑失效5℃原则;轴承失效

  b. 措施:加大水冷;增加冷却装置;缩短换油时间7磁场屏蔽出现的问题

  旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:

  ①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;

  ②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;

  ③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;

  ④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。

  分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。






为什么要选择涡旋式无油干泵IDP-3?极低维护成本IDP-3的采购价格及维护包价格只是隔膜泵的一半更换操作快捷15分钟即可完成的密封条更换工作降低音频噪声—提高用户体验使用精密的测声计,并通过ISO标准进行测试:在操作人员位置的测试结果表明,IDP-3的噪声会小于油封式真空泵2dB







测试过程

试验期间,涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ,泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行 12 个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为 2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到 7mT 。

测试结果

当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的允许温度为 120 度)。

另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。










TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵TwisTorr 404 FS 配备 DN100 法兰,可提供 400 L/s 的抽速,对轻质气体可实现高压缩比,还配备已注册商标的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS),确保低振动和低噪音,适用于各种敏感环境。TwisTorr 404 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、、低成本的分子泵。

404 FS 是 UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温应用的选择。该泵的智能控制器可根据系统需要自动优化泵的性能。








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