太阳能级多晶硅技术分为化学法与物理法两大类。化学法的多晶硅制程泛指硅在纯化过程中，需要转换成硅化合物的中间产物，再利用裂解或氧化还原反应，将硅化合物转成高纯度的多晶硅原料。化学法制程可产出纯度较高的多晶硅，但由于中间牵涉到许多副产品的控制与处理，技术难度较高，依照不同技术来源，成本各异，一般来说成本比物理法制程高。大部分化学法都需利用冶金级硅（metallurgical grade s
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太阳能级多晶硅技术分为化学法与物理法两大类。化学法的多晶硅制程泛指硅在纯化过程中，需要转换成硅化合物的中间产物，再利用裂解或氧化还原反应，将硅化合物转成高纯度的多晶硅原料。化学法制程可产出纯度较高的多晶硅，但由于中间牵涉到许多副产品的控制与处理，技术难度较高，依照不同技术来源，成本各异，一般来说成本比物理法制程高。大部分化学法都需利用冶金级硅（metallurgical grade silicon;MG）来当作硅化合物的原料，少数是直接利用二氧化硅来制备硅化合物。
化学法中，西门子法（Siemens process）广为早期生产半导体级多晶硅的业者所采用，此法技术成熟但成本较高。除西门子法外，尚有ASiMi法、流体床反应法与管状沉积法等。ASiMi法是Advanced Silicon Material （ASiMi）公司所研发，系利用硅（silane/ SiH4）为原料的高纯度多晶硅制程技术。2005年ASiMi宣布退出多晶硅市场，大部分股权由挪威REC （Renewable Energy Corp）收购，因此此项技术目前仍由REC在进行生产。
流体床反应法与ASiMi法同样以硅为原料，这种方法的反应温度较低，可减少近30%的耗电量，且因硅晶种反应面积较大，反应炉内气流速度快，可解决ASiMi法沉积速度慢的问题。流体床反应可为连续式的生产，也是流体床反应炉优于钟罩形西门子反应炉的原因。管状沉积法是Joint Solar Silicon GmbH （JSSI）使用的多晶硅生产技术，所使用的原料与原理和流体床反应法相同，皆为硅与氢气加热分解后产生的多晶硅。JSSI宣称此法所消耗的电量为传统西门子法的10分之1，转换率可达95~98%，目前已有量产纪录。
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