而真空辅助开关的接点工作于真空或惰性气体介质中，在规则电流下不产生电弧，且接触部分通常镀以金、铑、钯等，确保良好的电接触性能。免维护，不需检修F系列辅助开关触头部位为非全密封结构，灰尘、飞虫、油垢在动静触头处积聚，加上接触部位氧化锈蚀、电弧和镀层磨损，触头弹簧永世变形等，致使丧失导电性能，需求经常维修。而真空辅助开关的中心部分真空管以及衔接铜片，用环氧树脂密封于定盘中，其机械强度高，工作稳定，可以
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而真空辅助开关的接点工作于真空或惰性气体介质中，在规则电流下不产生电弧，且接触部分通常镀以金、铑、钯等，确保良好的电接触性能。免维护，不需检修F系列辅助开关触头部位为非全密封结构，灰尘、飞虫、油垢在动静触头处积聚，加上接触部位氧化锈蚀、电弧和镀层磨损，触头弹簧永世变形等，致使丧失导电性能，需求经常维修。而真空辅助开关的中心部分真空管以及衔接铜片，用环氧树脂密封于定盘中，其机械强度高，工作稳定，可以完成免维护。
而真空中，由于压强较低，气体分子，在这样的环境中，即使电极间隙中存在着电子，它们从一个电极飞向另一个电极时，也很少有机会与气体分子碰撞。因而不可能有电子和气体分子碰撞造成雪崩式的穿。正是因为气体分子十分稀少，真空间隙穿需要在非常高的电压下出现场致发射等其它现象时才有可能形成。从理论上推测，电场强度需达到108V/cm以上时才会造成穿，实际上真空间隙的绝缘强度由于一系列不利因素例如电极表面粗糙度、洁净度等的影响，将理论计算值几个数量级。
影响真空绝缘水平的主要因素，真空绝缘是一个十分复杂的物理过程，其机理到目前为止仍没有明确的结论。从实际应用情况来看，主要有以下几个方面：电极的几何形状，电极的几何形状对电场的分布有很大的影响，往往由于几何形状不够恰当，引起电场在局部过于集中而导致击穿，这一点在高电压的真空产品中尤其突出。电极边缘的曲率半径大小是重要因素。一般来说，曲率半径大的电极承受击穿电压的能力比曲率半径小的大。此外，击穿电压还和电极面积的大小成反比，即随着电极面积的增大而有所降低。面积增大导致耐压降低的原因主要是放电概率增加。
电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的控制。当泵出现故障时，泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通和断开及马达超负荷的保护。操作流程有显示器，有按钮控制，可控制马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主按钮操作。
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