无尘车间净化技术的设备发展
美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的无尘车间洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把投资比例压缩到高ji别的微环境，无尘车间消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。电子产品制造中无尘车间防静电技术指标要求
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无尘车间净化技术的设备发展
美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的无尘车间洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把投资比例压缩到高ji别的微环境，无尘车间消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。电子产品制造中无尘车间防静电技术指标要求（1）防静电地极接地电阻＜10Ω。
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GMP净化工程主要需要注意的方面有以下几点：
(3)设备
工厂的所有设备和用具的设计,采用的材料和制作工艺,应便于充分的清洗和适当的维护。这些设备和用具的设计、制造和使用,应能防止食品中掺杂污染源。接触食物的表面应耐腐蚀,它们应采用无1毒1的材料制成,能经受侵蚀作用。接触食物的表面的接缝应平滑,而且维护得当，能尽量减少食物颗粒、脏物及有机物的堆积,从而将微生物生长繁殖的机会降低到限度。食品加工、处理区域内不与食品接触的设备应结构合理,便于保持清洁卫生。另外，在被测高效过滤器上风侧，往往大气尘浓度较低，需补充发烟才易发现泄漏，粒子计数器法检漏的的这些不足DOP法恰恰可以弥补，故国外广泛采用DOP法检漏。食品的存放、输送和加工系统的设计结构应能使其保持良好的卫生状态。
电子产品制造中无尘车间防静电技术指标要求
（1）防静电地极接地电阻＜10Ω。
（2）防静电地面或地垫：表面电阻值105-109Ω，摩擦电压＜100V。
（3）防静电墙壁：电阻值5×104-109Ω。
（4）防静电工作台垫：表面电阻值105-109Ω；摩擦电压＜100V；对地系统电阻105-109Ω。
（5） 防静电工作椅面对脚轮电阻105-109Ω。
（6） 防静电工作服、帽、手套摩擦电压＜300V；鞋底摩擦电压＜100V。表面电阻值105-109Ω。
（7） 防静电腕带连接电缆电阻1MΩ；佩带腕带时系统电阻750KΩ-1O.5MΩ。脚跟带（鞋束）系统电阻105-108Ω。
（8）物流车台面对车轮系统电阻105-109Ω。
（9）料盒、周转箱、PCB架等物流传递器具表面电阻值103-109Ω，摩擦电压＜100V。
（10）包装代、盒摩擦电压＜100V。
（11）人体综合电阻105-109Ω。
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