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洁净室检测的布局

( 1 ）进出不同洁净级别洁净厂房（区〉的人员和物料的出入口，均应分别设置。极易造成污染的物料(如有毒有害的物料，生产中的废弃物等）应设置出入口。人员和物料进入洁净室(区)的入口处,应设有各自的净化室和设施。

(2）洁净室(区）内应只设置.必要的工艺设备和设施。用于生产、贮存的区域不得用作非本区域内人员或物料的通道。

( 3 ）输入人员和物料的电梯宜分开设置。电梯不宜设在洁净室(区）内。因工艺要求必需设置时，电梯出入口前应设缓冲室或其他确保洁净区空气洁净度级别不受影响的措施。

( 4 ）兽药生产洁净厂房每一生产层每一洁净区均应设安全出口，一般应在相对方向上个设一个，面积较小或人员较少时，可按《建筑设计防火规范》设一个。

(5）洁净区门的开启方向，同向室外的门和安全门应向外开启外，其余的门均向压力大的方向开启。( 6）有防爆要求的洁净室应按有关规定设置。

( 7 )人净措施及。生产区平面上的人身净化（简称人净）布置包括更衣（含鞋）、盥洗、缓冲几个部分。

洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室检测压差的测试

（1）应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。

（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。

（4）所测量记录的数据应到 1.0Pa。

（1）先关闭所有的门。

（3）记录所有数据。

（1）不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5Pa。

（3）对于空气洁净度等级严于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。