洁净室检测结果评定
1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限,即A≤级别界限,则判符合规定。(采样点>9个)
2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限,则判符合规定。(采样点≤9个)
3.凡是1、2规定不相符合,则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁
实验室检测设备
洁净室检测结果评定
1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限,即A≤级别界限,则判符合规定。(采样点>9个)
2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限,则判符合规定。(采样点≤9个)
3.凡是1、2规定不相符合,则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁净级别,≥0.5um:2.83L/次,≥5um:2.83L/次
洁净室检测等动力采样的问题
所谓等动力采样就是在检测时,粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致,而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。因为对净化工程的检测我们主要关心两种粒径,即0.5um和 5um。非等动力采样对于≤0.5um 的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度,如果这些粒子不受非等动力条件的影响,则计算结果也不受影响。因此,净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。
洁净室压差日常监测如何控制
一.关于压差报警,允许对压差报警设定,以满足日常操作需要(如进出开门),但需要合理确定该项活动所需要的时间,并以此确定。通常需要延迟报警或行动警报,以允许洁净室的正常活动,如开门以允许人员进出。仔细观察典型的或预期的正常偏差的持续时间是确定适当的时间延迟的必要条件。超出正常持续时间的偏差应报警。
二.有关缓冲间门的要求,除非安装充气密封(equipped with inflatable seals),否则开门后压差存在泄漏(客观事实)。当人员或物料从一个洁净室或洁净区移动到另一个洁净室或洁净区时,气闸(缓冲间)的设计有助于保持压差。气闸的设计或操作使一个相对的门总是关闭。然而,除非这些门装有充气密封,否则当其中一扇门打开时,通过气闸的泄漏量通常比两扇门都关闭时更大(客观事实)。
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