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NR9 3000P光刻胶报价推荐货源「赛米莱德」

PR1-2000A1NR9 3000P光刻胶报价 4,曝光 前烘好的存底放在光刻胶衬底放在光刻机上,经与光刻版对准后,进行曝光,接受光照的光刻胶发生化学变化,形成潜影, 光源与光刻胶相匹配,也就是光源波长在光刻胶的敏感波段; 对准:指光刻板上与衬底的对版标记应准确对准,这样一套光刻版各版之间的图形才能彼此套准。
NR9 3000P光刻胶报价







PR1-2000A1NR9 3000P光刻胶报价


4,曝光


前烘好的存底放在光刻胶衬底放在光刻机上,经与光刻版对准后,进行曝光,接受光照的光刻胶发生化学变化,形成潜影,


光源与光刻胶相匹配,也就是光源波长在光刻胶的敏感波段;


对准:指光刻板上与衬底的对版标记应准确对准,这样一套光刻版各版之间的图形才能彼此套准。


曝光时间,由光源强度,光刻胶种类,厚度等决定,


另外,为降低驻波效应影响,可在曝光后需进行烘焙,称为光后烘焙(PEB




PR1-1000A1

NR9-3000PY 负性光刻胶

负胶 NR9-3000PY 被设计用于i 线(365 nm)曝光,可使用如步进光刻、扫描投影式光刻、接近式光刻

和接触式光刻等工具。

显影之后,NR9-3000PY 展现出一种倒梯形侧壁,这可以方便地作单纯的LIFT-OFF 处理。

NR9-3000PY 相对于其他光刻胶具有如下优势:

- 优异的分辨率性能

- 地显影

- 可以通过调节曝光能量很容易地调节倒梯形侧壁的角度

- 耐受温度100℃

- 室温储存保质期长达3 年

Lift-Off工藝

應用領域:LEDs,OLEDs,displays,MEMS,packaging,biochips。

濕法蝕刻,鍍 干法蝕刻(RIE/Ion Milling/Ion implantation)

附着力好Temperature resistance = 100°C 耐高溫Temperature resistance = 180°C

Resist Thickness NR9-3000PY 负性光刻胶

负胶 NR9-3000PY 被设计用于i 线(365

nm)曝光,可使用如步进光刻、扫描投影式光刻、接近式光刻





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