广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修
扩展测试寿命测试 在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试(长时间暴露于加速损坏的条件下),对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间超过五年。冲击测试 对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试,证明泵的抗冲击性。每个泵受到 30–120 g 的加速度,相当于从82 厘米/32 英寸高跌落(处于
广州Agilent分子泵维修
广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修
扩展测试寿命测试 在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试(长时间暴露于加速损坏的条件下),对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间超过五年。冲击测试 对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试,证明泵的抗冲击性。每个泵受到 30–120 g 的加速度,相当于从82 厘米/32 英寸高跌落(处于非运行状态的泵)和从 15 厘米/6 英寸高跌落(处于运行状态的泵)。在泵处于垂直、水平和倒立状态时,各进行 6 次冲击测试。所测试的泵在 24 次跌落后无任何问题(不发生转子机械接触,泵运行状态不变)。在每次跌落后验证泵的不平衡性,结果表明变化,远阈值。
“黑科技” No.2 AFS 安捷伦悬浮轴承技术
一般的涡轮分子泵的设计,泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的,一旦泵体有振动或冲击,这些振动就会传递到轴承,并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动,对振动特别敏感,传递到轴承的振动会影响轴承的寿命,传递到转子的振动会造成转子发生位移,甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触,巨大的冲击力会立即造成转子叶片的破碎,整泵也随之报废。
安捷伦 AFS 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动,保证佳的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,程度减少系统停机时间,确保长时间工作的稳定性。
目前干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段,很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率等问题仍然很棘手,当抽取一些活泼气体时,由于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的,用在需要控制音量的场合,如何降噪也要成为研究方向。但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位,就像现在螺杆压缩机在行内的统治地位一样。
分子泵轴承为什么会烧毁
原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘
解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
原因:防护网,前级管道
解决方法:优化系统设计
真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
原因:油池或密封不良
解决方法:检查油池
正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形
原因:过热,负载大
解决措施:检查冷却系,检查系统
分子泵也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域,由于半导体行业发展迅速,真空泵的市场拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷伦),德国普发,欧瑞康莱宝, Busch,和 Osaka Vacuum等公司,其他制造商主要是国产仪器厂商,如北京北仪真空技术有限责任公司,成都南光机器有限公司,中科院沈阳科学仪器等企业。但是,无论是在技术还是在市场发展上,国外的仪器产品都远远超过国内仪器产品。
进出口法兰、冷却水安装
①、泵入口:对正、对称拧紧
②、泵出口:防止错位
③、冷却水:无漏水;入口水压0.2MPa;水温20±5℃;水质澄清无沉淀
注意:
环境温度:风冷需小于32℃;水冷可至40℃
入口压强:强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa
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