间隙对真空泵极限压力的影响
间隙对真空泵极限压力的影响
旋片式真空泵的间隙指的是顶点间隙和断面间隙。间隙对旋片式真空泵的极限压力影响很大。间隙的存在是必然的,这跟旋片泵生产过程中的加工精度和装配精度有关,也是功能设计的需要。间隙过大会导致旋片泵高压腔的气体向低压腔泄器,严重影响旋片泵的极限压力;小的间隙虽然能降低旋片泵的极限压力,但会导致摩擦力的上升,继而引发
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间隙对真空泵极限压力的影响
间隙对真空泵极限压力的影响
旋片式真空泵的间隙指的是顶点间隙和断面间隙。间隙对旋片式真空泵的极限压力影响很大。间隙的存在是必然的,这跟旋片泵生产过程中的加工精度和装配精度有关,也是功能设计的需要。间隙过大会导致旋片泵高压腔的气体向低压腔泄器,严重影响旋片泵的极限压力;小的间隙虽然能降低旋片泵的极限压力,但会导致摩擦力的上升,继而引发功率、磨损和散热等一系列问题。排气压力过高降低排气压力至规定范围,吸入气体中液体含量过多在入中处加装分离器,或者降低工作液量,没有真空,电机转向错误更换两根导线。所以确定一个合理的间隙很重要。间隙取值





并非越小越好,一般情况下,间隙的取值时除了考虑润滑和泄漏外,还要考虑热膨胀的原因
真空泵维修保养误区
真空泵为什么有噪音,有以下几种可能,首先排除电机是否有异音,如果电机生音正常,电机主要是轴承损坏将有异音,更换轴承及排除,缸体是否有磨损状况,如果缸体磨损声音肯定会变大,解决方案,那就是搪缸,搪缸对泵浦本身影响很大的,会影响泵浦真空度及抽速,所以搪缸的尺寸及精度要求非常高,还有一级转子与二级转子连接处有个联轴器是否有磨损,如果磨损声音会变大,真空泵维修处理方案,就是更换,如果更换基本就可以排除声音过大,泵浦轴承是否有更换,这个是直接影响声音的根本原因,所以更换及可以解决噪音大之故障,一级转子与二级转子连接销钉是否有磨损状况,如果磨损也会导致噪音变大,处理方案就是换新,泵浦间隙是否符合标准,如果间隙过大或者过小也会导致噪音变大,所以间隙必须符合泵浦使用状况,排气端是否有消音装置,如果没有也会直接导致声音变大,处理方案就是更换及可以安装及可排除。 真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对ya有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空。有的真空泵出口压强大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。33×10-1(Pa)下,其抽速值分别不得泵的名义抽速的95%、50%和20%。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。


真空泵机组涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:①半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备;②科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、真空泵机组极光试验设备、分析测试仪器;③机械设备行业:材料制备设备、真空检测设备、真空过滤设备、材料提纯设备、超高真空排气设备;④行业:仪器、透析机;生物制品行业:材料提纯与药品制备;⑤包装行业:食品、药品、生物制品等包装设备;⑥真空冶金行业:真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的配置。旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1。
多级罗茨干泵工作过程中的传热模型,包括泵体外壁与大气的自然对流换热模型、泵壁内部的热传导模型、泵体内壁与气体之间的强迫对流换热模型、泵体内气体与转子的强迫对流换热模型和转子轴上的热传导模型。同时, 通过接触式和非接触式测温方法, 对各级泵体内外壁、气体和转子温度进行了实验测量, 并将温度测量结果作为边界条件, 使用ANSYS 软件对多级罗茨干泵泵体及转子轴在稳定运转时的温度场进行了分析, 并采用热- 结构耦合分析对其热变形进行了计算, 得到转子轴和泵腔的热变形量, 为进一步计算干泵在运行时受热产生的间隙变化提供了计算依据。一般要用石蜡基窄馏分润滑油,对于扩散真空泵,还可使用蒸汽压很低的硅油或其它合成油。
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