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广州Agilent分子泵硬件升级「潽拓光电」

广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵 安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305,它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点,同时(参见文章:安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍),还拥有诸多全新的特点(参见文章:新产品 | 安捷伦新型分子泵“新”在哪?),此外,TwisTorr 305 还
广州Agilent分子泵硬件升级







广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵

安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305,它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点,同时(参见文章:安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍),还拥有诸多全新的特点(参见文章:新产品 | 安捷伦新型分子泵“新”在哪?),此外,TwisTorr 305 还是安捷伦采用全新设计和制造方法所推出的款真空产品。而广州潽拓光电根据305产品特性研究,可以针对性的提供服务。





广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵硬件升级




高真空涡轮分子泵是什么?

涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵,典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa,但在极限状态下,可以通过它实现 0.00000001Pa(大气压的十万亿分之一)的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器,高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。









测试过程

试验期间,涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ,泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行 12 个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为 2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到 7mT 。

测试结果

当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的允许温度为 120 度)。

另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。










TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵TwisTorr 404 FS 配备 DN100 法兰,可提供 400 L/s 的抽速,对轻质气体可实现高压缩比,还配备已注册商标的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS),确保低振动和低噪音,适用于各种敏感环境。TwisTorr 404 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、、低成本的分子泵。

404 FS 是 UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温应用的选择。该泵的智能控制器可根据系统需要自动优化泵的性能。







TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比,同时支持高气体流速,从而能够通过 DN100 法兰以 400 L/s 的抽速在极低的极限压力下运行,同时可用于高通量应用无烃运行,可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作。低振动和低噪音 (43 dB(A)),打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧,可安装在任何位置,有利于轻松集成免维护轴承,零运行成本通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制,以便随时随地进行泵的操作防辐射和防磁场设计,无嵌入式电子设备,可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射,确保不会干扰工艺过程泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到化,可在泵的操作条件下始终保持气体流量和压缩比







性能指标H2 压缩比3 x 106冷却方法Air coolingWater cooling前级管道法兰尺寸KF 25 NW前级耐压 — N210 mbar启动时间< 5 min噪音水平43 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量10 m3/h抽速 — Ar340 L/s抽速 — H2415 L/s抽速 — He505 L/s抽速 — N2380 L/s气体通量 — Ar、水冷3.3 mbar L/s;195 sccm气体通量 — N2、水冷6.2 mbar L/s;367 sccm极限真空<1 x 10–10 mbar标准和认证61326-1

61010-1

DIR 2006/42/CE

DIR 2014/35/EU

DIR 2014/30/EU

DIR 2011/65/EU法兰类型DN 100贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量22.6 kg额定转速从 40.8 至 49.5 KRPM








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