广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵升级
振动分析 在制造过程中以及泵运输前的测试中,对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平:0.4 m/s2。噪音测试 通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试,来验证泵噪音:垂直、水平和翻转位置;高温和低温;全速和低速。在正常运行状态下,168 次测量得到的平均噪音为 41 dB
广州Agilent分子泵升级
广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵升级
振动分析 在制造过程中以及泵运输前的测试中,对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平:0.4 m/s2。噪音测试 通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试,来验证泵噪音:垂直、水平和翻转位置;高温和低温;全速和低速。在正常运行状态下,168 次测量得到的平均噪音为 41 dB(A)+/-3σ。包装测试 通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能,在测试时,使带包装的泵从 96 厘米/37.8 英寸的高度以各种角度跌落 18 次。装有 TwisTorr 305 的包装箱可承受 30 g 的加速度,以确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。
分子泵控制器 “3D” 控制软件
早期的分子泵控制器又叫分子泵电源,其的功能是向分子泵供电;后来,改进型的控制器具备了一定的保护功能,可以监控分子泵的功率和温度,相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线,分子泵只能在这条线以下工作(2D),若超过这条线控制器就会报警停机。
与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器,变被动保护为主动调整,可以根据不同的工艺条件,自动调整输出功率和转速,使泵在保证自身安全的同时,始终工作在一个达到优性能的曲面上(3D),达到佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行,可以延长其使用寿命。
与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS,加上之前的 84FS 和 304FS,形成了一个完整的系列。
广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵升级分子泵安装维修注意事项
电缆安装注意事项
①、对正槽口插入
②、用螺母拧紧,边插边拧
③、检查到位
振动隔离、冲击防护
1分子泵振动,可直接接于被抽系统。
对于高精密仪器的应用(如电子显微镜),建议使用隔振器,以便可能的减少振动。
2冲击防护:高速旋转、间隙很小、柔性支撑
机械振动(预抽泵、前级泵、机械动作等)
气体振动(气量突变、压强突变)
意外振动(掉入异物、碰撞等)
注意:没有对泵进行必要防护,容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。
安捷伦推出GC-MS 5973和5975分析仪器高的无油真空解决方案——涡旋式无油干泵IDP-3,在客户现场就可实现。
现在使用GC-MS分子泵系统的分析仪器的客户,可以将您的真空泵升级为无油真空泵IDP-3,来改善操作环境,降低使用成本,消除更换润滑油和处置废油所带来的一切烦恼。
性能指标H2 压缩比1.5 x 106前级管道法兰尺寸KF 16 NW前级耐压 — N212 mbar启动时间< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量7 m3/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s气体通量 — N2、水冷250 sccm极限真空<1 x 10-10 mbar标准和认证EN 61010-1
EN 61326-1
EN 1012-2
EN 12100
EN 50581
机械指令 2006/42/EC
电磁兼容性指令 2014/30/
EU 指令 2011/65/EU法兰类型DN 100DN 160贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量5.84 kg额定转速60 KRPM
为了确认磁场对分子泵工作的影响,德国卡尔斯鲁厄理工学院(KIT)设计并执行了下面的测试:
测试条件和装置
被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6,使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。
被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级,分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下(该压力以下,热对流几乎为零,分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分)。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却;分子泵的控制器会自动调整电机电流,保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。
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