洁净室检测应控制人员散发的污染
人员的鼻腔、口腔、皮肤、头发和身上的服装都散发污染物。根据试验,人员身着一般工作服行走时,每分钟所散发的≥0.l u m的颗粒数可高达1.9×lpcs/人·min。
控制人员散发的污染,首先是控制进入洁净室的人员数量。生产、科研无直接关系,未经洁净室工作人员守则培训的人员,一律不得进入洁净室。进入的人员要遵守洁净室工作守则,整齐穿着洁
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洁净室检测应控制人员散发的污染
人员的鼻腔、口腔、皮肤、头发和身上的服装都散发污染物。根据试验,人员身着一般工作服行走时,每分钟所散发的≥0.l u m的颗粒数可高达1.9×lpcs/人·min。
控制人员散发的污染,首先是控制进入洁净室的人员数量。生产、科研无直接关系,未经洁净室工作人员守则培训的人员,一律不得进入洁净室。进入的人员要遵守洁净室工作守则,整齐穿着洁净室工作服,戴工作手套、口罩、发帽,穿洁净靴,经洁净通道进入。
洁净室检测
1.洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25M用微尘粒子计数计测试之,测试完毕,应列印其数值记录。
2.风速及风量检验:于ULPA下方约150M / M处,用热线式风速计测定,原则上每只ULPA测定两点,每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值,以下式之公式计算之。风量=平均风速×出风之面积(ULPA之面积)。
洁净室照度检测
应该在洁净室每个工作地点(例如书桌、工作台)测量照度,然后加以平均。对于没有确定工作地点的空房间或非工作房间,如果单用一般照明,通常选 0.8m 高的水平面作为照度测量面。将测量区域划分成大小相等的方格(或接近方形),测量每格中心的照度 Ei ,则平均照度等于各点照度的算术平均值。
照度的不均匀度计算,照度是指洁净室内照明全开时,室内小照度与平均照度的比值,它是评价照度均匀性的一个重要指标。
洁净室检测对空气温度检测仪器的要求
1.玻璃温度计,玻璃温度计由感温包、温度计茎、毛细管、和储液包组成如图 所示。其测温原理主要为感温包内的液体受热后体积膨胀,从而液体在毛细管中的高度产生变化。玻璃温度计的特点是直观、成本低廉、精度高等特点。但由于测温时间较长。因此在洁净室工程验收中使用玻璃温度计进行温度测试时需要耗费很多时间。
2.数字温度计,数字温度计通常有温度传感器和显示装置组成。在测试过程中可以选择 所示的手持式温湿度计,也可以选择传感器和显示仪表来集成使用更加方便的数字温度计。常用的温度传感器有热电偶、铂电阻。
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