真空设备检漏
一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。至少要在10-3mbar以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的
电力铸件真空箱氦检漏系统
真空设备检漏
一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。至少要在10-3mbar以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。
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并预先根据环境中氦的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的
位置，可以通过对可yi位置喷氦并检验漏率是否有明显的上升来完成。
与抽真空方式相反，嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定氦气，
封闭测试端口，将嗅探探头连接至检漏仪，用嗅探探头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。客户也可以直接使用氢气检漏仪进行高灵敏的检漏以避免温度变化带来的对压降法检漏的影响。如果发现漏率明显的上升，便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是，由于嗅探方式是通过检测器壁外的大气来进行测量的，大气中的氦会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除，但仍会降低嗅探方式的灵敏度（嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。
氦气
氦气穿透能力强，且易，对漏点有很好的检出能力，可让细微小洞无处可逃。无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用，这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部，氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞，灵敏度可与性检漏方法匹敌，但要比性检漏方法简便。氦气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氦气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。
氢气检漏设备
（1）检漏仪：采用上述工作原理制造的氢气检漏仪，由于氢气的上述性质，其灵敏度可以达到与氦检相同水平。对工件充注干燥空气/氮气0-5Mpa，进行大漏及耐压检测，通过该装置判断出被检工件的大漏及耐压试验。（2）示踪气体充注控制器：对于批量生产的用户，好采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作，可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。
氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏，称作氢氮混合气检漏法，或氢气检漏法。它是将泄漏声音中可听频率部分截掉，仅仅使超声波部分放大，以检测出泄漏。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的（ISO10156），无毒性和腐蚀性，也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素，有着很多的优点。
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