广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修厂
扩展测试寿命测试 在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试(长时间暴露于加速损坏的条件下),对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间超过五年。冲击测试 对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试,证明泵的抗冲击性。每个泵受到 30–120 g 的加速度,相当于从82 厘米/32 英寸高跌落(处
广州Agilent分子泵维修厂
广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修厂
扩展测试寿命测试 在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试(长时间暴露于加速损坏的条件下),对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间超过五年。冲击测试 对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试,证明泵的抗冲击性。每个泵受到 30–120 g 的加速度,相当于从82 厘米/32 英寸高跌落(处于非运行状态的泵)和从 15 厘米/6 英寸高跌落(处于运行状态的泵)。在泵处于垂直、水平和倒立状态时,各进行 6 次冲击测试。所测试的泵在 24 次跌落后无任何问题(不发生转子机械接触,泵运行状态不变)。在每次跌落后验证泵的不平衡性,结果表明变化,远阈值。
“黑科技” No.2 AFS 安捷伦悬浮轴承技术
一般的涡轮分子泵的设计,泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的,一旦泵体有振动或冲击,这些振动就会传递到轴承,并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动,对振动特别敏感,传递到轴承的振动会影响轴承的寿命,传递到转子的振动会造成转子发生位移,甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触,巨大的冲击力会立即造成转子叶片的破碎,整泵也随之报废。
安捷伦 AFS 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动,保证佳的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,程度减少系统停机时间,确保长时间工作的稳定性。
分子泵市场
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。
油池安装注意事项 ①、拆油
②、油量控制
③、油池卫生,防颗粒
④、对好、对称上紧螺钉,防止有漏
分子泵也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域,由于半导体行业发展迅速,真空泵的市场拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷伦),德国普发,欧瑞康莱宝, Busch,和 Osaka Vacuum等公司,其他制造商主要是国产仪器厂商,如北京北仪真空技术有限责任公司,成都南光机器有限公司,中科院沈阳科学仪器等企业。但是,无论是在技术还是在市场发展上,国外的仪器产品都远远超过国内仪器产品。
进出口法兰、冷却水安装
①、泵入口:对正、对称拧紧
②、泵出口:防止错位
③、冷却水:无漏水;入口水压0.2MPa;水温20±5℃;水质澄清无沉淀
注意:
环境温度:风冷需小于32℃;水冷可至40℃
入口压强:强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa
采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑,并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比(特别是对小分子气体的高压缩比)可以带来更好的极限真空,而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵,从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。
安捷伦真空(原瓦里安真空)是离子泵,赛斯是NEG吸气剂泵的始创者,两家公司有累计超过100年的真空经验。此次的吸气剂复合离子泵采用了各自的技术,两家公司充分的信任和紧密的合作促成了这一全新产品的问世,我们期待更多类似的合作,和更多让我们眼亮的产品。
安捷伦 AFS 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动,保证好的轴
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