无尘车间净化技术的设备发展
随着我国人民生活水平提高，人们对生存环境及生活质量提出了越来越高要求，用水纯化设备制备的高纯水已受到人们普遍欢迎，无尘车间净化工程技术已开始进入千家万户，无尘车间进入人们的现代生活。
我国的无尘车间洁净技术和设备与国外相比差距是明显的，我国1965年才开始生产的HEPA过滤器，比国外晚了十五年。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净
洁净室净化工程
无尘车间净化技术的设备发展
随着我国人民生活水平提高，人们对生存环境及生活质量提出了越来越高要求，用水纯化设备制备的高纯水已受到人们普遍欢迎，无尘车间净化工程技术已开始进入千家万户，无尘车间进入人们的现代生活。
我国的无尘车间洁净技术和设备与国外相比差距是明显的，我国1965年才开始生产的HEPA过滤器，比国外晚了十五年。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。1975年开始生产的光散射尘埃粒子计数器比国外晚了二十年。0.1微米洁净技术和设备在国际上已成为成熟技术，我国则无尘车间洁净技术刚刚起步。
洁净工程区域功能讲解：
1. 粘性地板材料：通常用在洁净室入口到更衣区域和洁净室中，粘性材料用来祛除鞋底的尘埃微粒。
2. 更衣区域：洁净室与外部环境的缓冲地带，对这个区域的管理直接影响到洁净室洁净度的保持。
3. 气压：保持和监测相对于外部环境或相关区域的正气压将直接影响到洁净室的运行。
4. 风浴：理论上，更衣过的工作人员在进入洁净室前应进行进一步的“擦洗”。
5. 维修间：置放辅助和支持设备(除载入和载出设备之外)，这个区域的维护对生产洁净度水平而言是非常重要的。
6. 双门通道：允许原料或产品进出洁净室的气密进出口。
7. 更衣程序：就洁净室服装而言，存放、穿衣和更衣都对洁净室运行起到关键的作用。洁净室维护(包括洗衣)在洁净室运行中经常被忽略
制订防静电管理制度，并有专人负责。定期检查、维护防静电设施的有效性。
（1）手腕带：每天检查一次。
（2）防静电衣服：每月检测一次。
（3）防静电鞋：每个星期检测一次。
（4）人体综合电阻：每天检测一次，一般在车间入口处检测。
（5）防静电元器件架、印制板架、周转箱、运输车的防静电性能每六个月检查一次。
（6）防静电地板、桌垫、地垫每三个月检测一次。
（7）静电消除设备每三个月检测一次，可用静电测试仪。
（8）防静电产品的接地每月检查一次。
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