广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修厂
振动分析 在制造过程中以及泵运输前的测试中,对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平:0.4 m/s2。噪音测试 通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试,来验证泵噪音:垂直、水平和翻转位置;高温和低温;全速和低速。在正常运行状态下,168 次测量得到的平均噪音为 41 d
广州Agilent分子泵维修厂
广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修厂
振动分析 在制造过程中以及泵运输前的测试中,对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平:0.4 m/s2。噪音测试 通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试,来验证泵噪音:垂直、水平和翻转位置;高温和低温;全速和低速。在正常运行状态下,168 次测量得到的平均噪音为 41 dB(A)+/-3σ。包装测试 通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能,在测试时,使带包装的泵从 96 厘米/37.8 英寸的高度以各种角度跌落 18 次。装有 TwisTorr 305 的包装箱可承受 30 g 的加速度,以确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。
分子泵控制器 “3D” 控制软件
早期的分子泵控制器又叫分子泵电源,其的功能是向分子泵供电;后来,改进型的控制器具备了一定的保护功能,可以监控分子泵的功率和温度,相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线,分子泵只能在这条线以下工作(2D),若超过这条线控制器就会报警停机。
与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器,变被动保护为主动调整,可以根据不同的工艺条件,自动调整输出功率和转速,使泵在保证自身安全的同时,始终工作在一个达到优性能的曲面上(3D),达到佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行,可以延长其使用寿命。
与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS,加上之前的 84FS 和 304FS,形成了一个完整的系列。
TwisTorr 305 Q 系列分子泵。
该系列包含 305 FSQ、305-ICQ ,以及两个带有中间抽气口的型号 305 SF 和305-IC SF。305 FSQ 和 305 SF 通过独立的控制器供电和控制,而 305-ICQ 和 305-IC SF 具有集成于泵身的控制器,只需要为其提供 24V 电源即可工作。
450 sccm 的氮气流量
305 FSQ 和 305 SF可以处理 450 sccm 的氮气流量,和 500 sccm 的氢气/氦气流量,在同等抽速和功率的产品中,是要求高气体流量的科研和工业应用的理想选择。而具有集成式控制器的 305-ICQ 和 305-IC SF 也可以处理 380 sccm 的氮气流量,和 500 sccm 的氢气/氦气流量,可以应对绝大多数的仪器应用。
真空泵是一个量大面广的产品,产量很大,产值不高,但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。在我国,真空泵是一个量大面广的产品,但是虽然它的产量很大,但是产值却不高。虽然真空泵是一个直接影响到真空成套设备性能质量的基础产品,不过在真空泵产品的领域.,国产真空泵并不多,大量的市场份额被进口企业所把持。真空泵的市场发展速度可以用日新月异来形容,几乎每时每刻都在根据用户需求的变动而动态变化着。真空泵市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展、真空泵技术不断革新以及真空泵应用领域的日益扩大。
长期存放不用不是的秘诀有客户会认为,长时间停泵不用对分子泵的损耗会比较小。但是,分子泵长时间停泵后,在表面张力和重力的作用下,轴承内部的润滑脂可能会出现收缩成团、分布不均匀等现象,反而会影响分子泵的寿命。为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀,安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月,可以使用软启动功能启动分子泵,转速以阶梯方式缓慢加速,使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月,建议送回维修中心让分子泵在的检测平台上按照既定程序加速(Re-channeling),磨合轴承。
StarCell 的设计使其成为能抽除大量惰性气体的离子泵,该泵可以以速度和容量处理、气和氦气等惰性气体。非蒸散型吸气剂技术(NEG)是SAES集团于上世纪七十年发的。非蒸散型吸气剂对氢气、水蒸气、氮气、氧气等活性气体有很大的抽速,其通常与溅射离子泵、涡轮分子泵或者低温泵等其他真空泵结合使用,以改善系统的极限真空或者减少抽气时间。
涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶,每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片,如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成,即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用,能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速,有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制,如果气体分子运动速度较大,泵抽真空就比较困难。
CombiNEG系列可复合2000L/s的吸气剂泵,其开启工作时可将前级泵隔离封闭抽气,可靠性高,对环境磁场的影响也很小,并且无油无振动,表面科学仪器和设备等需要超高真空、极高真空的系统。双泵复合单一抽气口的设计,使其结构很紧凑,安装使用也更简单。
安捷伦 HLD 系列检漏仪有一个大漏粗测模式,该模式采用的不是质谱偏转原理,因此不需要很好的真空,可以在高达 2 万帕的压力下检漏,这一点对于大型真空系统的粗检和复杂系统的排查性检漏特别实用。

安捷伦科技发布了全新的CombiNEG 吸气剂复合型离子泵。该泵大大增强了超高真空时离子泵的抽气能力,为超高真空、极高真空系统的设计提供了新的选择。
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