扫描电子显微镜的结构有哪些扫描电子显微镜的结构1、真空系统成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室,也就是放置样品的地方。之所以采用真空,主要基于以下两个原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效,所以使用SEM时除了真空外,通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增加电子的平均自由程,使更多的电子用于成像。2. 电子束系统电子束系统由电子
电镜测试中心
扫描电子显微镜的结构有哪些
扫描电子显微镜的结构
1、真空系统
成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室,也就是放置样品的地方。
之所以采用真空,主要基于以下两个原因:
电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效,所以使用SEM时除了真空外,通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增加电子的平均自由程,使更多的电子用于成像。
2. 电子束系统
电子束系统由电子和电磁透镜组成。主要用于产生能量分布很窄且具有一定电子能量的电子束,用于扫描成像。

热发射电子需要电磁透镜才能形成光束
电磁透镜
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束,因此电磁透镜对于使用热发射电子的SEM来说是的。通常组装两个组:
会聚透镜:顾名思义,会聚透镜使用会聚电子束,组装在真空柱中,位于电子下方。通常不止一个,并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是,会聚透镜仅用于会聚电子束,与成像焦点无关。
物镜:物镜是真空柱底部的电磁透镜,负责将电子束的焦点会聚到样品表面。

环境对台式扫描电子显微镜产生的影响
1、温度的操控
台式扫描电子显微镜适宜放在18摄氏度到24摄氏度的室内,如果超过高温度或者低温度,都有可能造成台式扫描电子显微镜的准确度。
2、湿度的操控
湿度对台式扫描电子显微镜也有影响,太潮湿的环境会使仪器生锈,所以通常要放置在空气湿度45%到75%之间的室内。
3、要留意避震
台式扫描电子显微镜不能长时间处于震荡环境,会使台式扫描电子显微镜的零部件精度降低。对于震动的频率要小于10Hz,振幅频率要小于2um。如果不能控制这样的震荡环境,就要尽可能的削减震荡,可以通过安装震荡阻尼器来削减

扫描电子显微镜(SEM)之所以如此强大
扫描电子显微镜(SEM)之所以如此强大,首先是他成像清晰,放大倍数超乎想象,可以达到几十万倍。它远远超出了光学显微镜的范围。 几乎它的出现,可以说是让研究进入了一个全新的境界。大景深。除成像外,还可以增加其他设备进行更细致的分析和多样化的功能。例如,SEM-EDS是一种扫描电子显微镜,配备有微量分析能谱仪,用于检测元素的总种类和含量。这里是普及一下景深的概念,在写的过程中也是理解的。

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