汽相沉积制备Parylene主要分三步，首先是二聚物原料在蒸发腔内在150℃升华，二聚物气体进入裂解腔在680℃左右的温度下，二聚物分子的分子键被断开，产生活性的 Parylene单体，Parylene单体分子被送到室温（ 25℃ ）的真空沉积室里在器件的表面上聚合沉积。当 Parylene单体在真空里汽相沉积时，它会产生真正均匀的涂层。
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汽相沉积制备Parylene主要分三步，首先是二聚物原料在蒸发腔内在150℃升华，二聚物气体进入裂解腔在680℃左右的温度下，二聚物分子的分子键被断开，产生活性的 Parylene单体，Parylene单体分子被送到室温（ 25℃ ）的真空沉积室里在器件的表面上聚合沉积。当 Parylene单体在真空里汽相沉积时，它会产生真正均匀的涂层。
Parylene 薄膜本身是无色透明且极为纯净和惰性的高聚物，几乎不能与外界已知的其他物质发生反应，合理的使用这种材料，能为我们的产品提供大的绝缘和隔离保护。
随着物联网成为现实，各类传感器应用也越来越广泛，如智慧城市、智慧、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备等，且用于各种复杂环境和环境中。用于这些恶劣环境中的传感器，无疑会出现生锈、腐蚀、受潮等现象，致使工作。Parylene涂敷属于气相沉积的过程，气态的小分子能渗透到元器件的细小缝隙，均匀的形成一层无无气泡的防护膜，更好的起到防潮、防水、耐腐蚀的效果。
Parylene涂层通过气相沉积工艺在真空室中施加，并且在涂覆过程中，聚对单体能够渗透橡胶和塑料的表面，从而提供优异的粘附性。Parylene薄而透明的柔韧特性通过保护表面和改善表面特性，提高了橡胶和弹性体组件的性能。在不降低部件功能性能的情况下进行这些改进。
常见的硅胶制品有各类密封圈、硅胶管等，由硅胶材质本身的特性所决定，适用一段时间后，本身的老化，或者适用环境的恶劣，导致密封圈、硅胶管出现老化、发粘的情况。为避免上述情况，往往对硅胶制品适用一些涂层，在适用的涂层中派瑞林parylene涂层不仅无毒环保，还可以起到抗老化、防腐蚀、防尘、防粘连、自润滑的效果。
物理气相沉积技术指的是在真空条件下，将原材料气化成气态原子、分子或部分电离成离子，在基材表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积技术可沉积金属膜、合金膜、陶瓷、化合物膜、聚合物膜等。
PVD技术可用于半导体领域导电薄膜的制备，例如晶圆制造过程中电极互连线膜的制备。PVD技术能以金、银、铜、铝、铬、镍和铁等金属或无机非金属材料为原料，形成纳米级别的薄膜，改变基材表面的光学特性。在光伏领域可用于减少光线反射，提高光电转换效率；在电子消费品领域可用于改变电子产品显示屏幕的分辨率、透光率。另外，PVD技术通常还用于改变基材色泽、外观，用五金件上镀上不同的颜色，做为装饰用途。
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