BOXER 系列(130 至 460 对/8 小时)Bühler Leybold Optics BOXER 系列是用于眼镜镜片镀膜的通用性高、生产力高且实用的中到大型平台。BOXER 系列以 700 mm 和 900 mm 不同腔室尺寸和可通过若干级进行扩展的能力为基础,是满足个别生产(无论是 Rx 生产还是存货生产)需求的理想选择。BOXER 系列镀膜机进行的加工包括
真空泵生产厂家
BOXER 系列(130 至 460 对/8 小时)Bühler Leybold Optics BOXER 系列是用于眼镜镜片镀膜的通用性高、生产力高且实用的中到大型平台。BOXER 系列以 700 mm 和 900 mm 不同腔室尺寸和可通过若干级进行扩展的能力为基础,是满足个别生产(无论是 Rx 生产还是存货生产)需求的理想选择。BOXER 系列镀膜机进行的加工包括从经典的宽带减反膜到吸光层(防晒)。BOXER 系列还适用于洁净室用途。优化的设置提供出色的性能BOXER 系列采用位于镀膜腔中心的高功率电子枪,确保了基底上的镀膜材料的均匀沉积。紧凑式平台设计仅需少的占地空间且包括强大的真空泵、大效率迈斯纳冷阱和单或双石英晶体监视器以大程度提。不同的系统型号可提供灵活的应用BOXER 真空镀膜机提供四种不同的版本以满足客户的特定需要。如果对系统的需求随着时间变化,其硬件可轻松进行扩展,从而提高生产力。BOXER 900 采用更大体积的腔室,在产量方面经过优化,且可满足大批量的生产需求。欧瑞康莱宝罗茨泵的基本参数:在250~2050米3/小时的抽速范围内,欧瑞康莱宝的罗茨泵的电机有直联式(WA/WAU)和封闭式(WS/WSU)两种规格,每种规格又分为带逸流阀、可在大气下启动的WAU/WSU和不带逸流阀的WA/WS的两种形式。提供无数定制选件,包括适用于无机玻璃应用的双石英晶体监视器、翻转布置以及加热系统。智能设计,易于维护BOXER 镀膜系统的矩形设计可方便腔室屏蔽的拆卸以进行清洗,而 BOXER 900 可通过屏蔽的滑动布置实现类似的轻松清洗。专门开发的“一键式修复”系统可方便基底支架的更换,由此有效地缩短基底传送的时间。
真空泵常见故障
极限真空是指泵浦在稳定工作状态下能达到的低真空压力值,泵浦开启后不久便能达到所属低压力范围,真空泵在经过运行一段时间后,泵浦温度升高会导致润滑油的饱和蒸汽压以及粘度等性能参数发生变化,极限真空压力回有一定的小幅度的波动,但经过一段时间运行后会趋向于一个稳定的真空压力值。这个稳定值就是我们通常说的真空泵的极限压力。真空泵压力的不稳定性的产生,有着很多因素的影响,比如说抽气时间、润滑油、泵浦本身的加工精度、泵浦零部件之间的间隙调整以及有害空间等因素。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体。





旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、电子、化工、轻工、石油等生产和科研部门。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。
旋片泵是真空技术中基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。
旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下,其抽速值分别不得泵的名义抽速的95%、50%和20%。
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。
多级罗茨干泵工作过程中的传热模型,包括泵体外壁与大气的自然对流换热模型、泵壁内部的热传导模型、泵体内壁与气体之间的强迫对流换热模型、泵体内气体与转子的强迫对流换热模型和转子轴上的热传导模型。同时, 通过接触式和非接触式测温方法, 对各级泵体内外壁、气体和转子温度进行了实验测量, 并将温度测量结果作为边界条件, 使用ANSYS 软件对多级罗茨干泵泵体及转子轴在稳定运转时的温度场进行了分析, 并采用热- 结构耦合分析对其热变形进行了计算, 得到转子轴和泵腔的热变形量, 为进一步计算干泵在运行时受热产生的间隙变化提供了计算依据。有的真空泵出口压强大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
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