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在纯粹涡轮分子泵的情况下,由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5～10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽，如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏，这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。
隔膜泵作为前级泵的优势
1.外观小巧精致
ULVAC分子泵维修联系方式
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在纯粹涡轮分子泵的情况下,由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5～10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽，如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏，这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。
隔膜泵作为前级泵的优势
1.外观小巧精致，重量小;
2.表面光滑容易清洁;
3.运行异常安静且振动低;
4.根据客户需要，干式隔膜泵可供选择的极限真空和抽气速度;
5.隔膜寿命长，高弹性的纤维增强型FKM隔膜（化学隔膜泵，耐腐蚀的PTFE三明治夹层结构隔膜）;
6.内部气路连接件漏率低，长久运行依然能保持优异的真空性能。
螺杆泵作为前级泵的优势
1.无油；
2.无易损件；
3.无磨损；
4.抽速大可达10 m3/h,极限真空低至0.005 mbar；
5.一键启动，长期7×24 h稳定运行，维护成本低，无烦恼。
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分子泵油池安装注意事项①、拆油②、油量控制③、油池卫生，防颗粒④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏
3进出口法兰、冷却水安装①、泵入口：对正、对称拧紧②、泵出口：防止错位③、冷却水：无漏水；入口水压0.2MPa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀注意：环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃入口压强：强制风冷
电缆安装注意事项①、对正槽口插入②、用螺母拧紧，边插边拧③、检查到位
5振动隔离、冲击防护
1分子泵振动，可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便很大可能的减少振动。2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）
气体振动（气量突变、压强突变）
意外振动（掉入异物、碰撞等）注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。
6大气载、热气体、突变气载
a引起问题：温度升高；动静片变形；转子上移；润滑失效5℃原则；轴承失效b.措施：加大水冷；增加冷却装置；缩短换油时间
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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。
1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa,V1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。
若能进一步将试件抽至200Pa以下，则V2关闭，V3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40Pa以下，则V3关闭，V4打开，氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏）。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。
真空泵常规性能参数测试:抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的，也是各项设计调整优化的重要目标。很终产品定型时，对外发布的各项参数和曲线，比如下图的抽速和压缩比曲线，都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的，在此不再展开描述。在泵处于垂直、水平和倒立状态时，各进行6次冲击测试所测试的泵在24次跌落后无任何问题（不发生转子机械接触，泵运行状态不变）。
在每次跌落后验证泵的不平衡性，结果表明变化，远阈值。抗振动测试通过对一批泵（处于运行和非运行条件下）进行一系列测试，证明对外部源产生振动的耐受性在105分钟的振动周期中，全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到0.5–2g加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性，因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变，且泵不平衡性仍然远阈值。
温度测试将泵置于–40°C至+70°C（处于非运行状态）以及0°C至40°C（处于运行状态）下暴露86小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证11次，结果显示仅存在的变异，远阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。傅立叶振动分析在制造过程中以及泵运输前的很后测试中，对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均很大振动水平：0.4m/s2。
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