汽相沉积制备Parylene主要分三步，首先是二聚物原料在蒸发腔内在150℃升华，二聚物气体进入裂解腔在680℃左右的温度下，二聚物分子的分子键被断开，产生活性的 Parylene单体，Parylene单体分子被送到室温（ 25℃ ）的真空沉积室里在器件的表面上聚合沉积。当 Parylene单体在真空里汽相沉积时，它会产生真正均匀的涂层。
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汽相沉积制备Parylene主要分三步，首先是二聚物原料在蒸发腔内在150℃升华，二聚物气体进入裂解腔在680℃左右的温度下，二聚物分子的分子键被断开，产生活性的 Parylene单体，Parylene单体分子被送到室温（ 25℃ ）的真空沉积室里在器件的表面上聚合沉积。当 Parylene单体在真空里汽相沉积时，它会产生真正均匀的涂层。
Parylene 薄膜本身是无色透明且极为纯净和惰性的高聚物，几乎不能与外界已知的其他物质发生反应，合理的使用这种材料，能为我们的产品提供大的绝缘和隔离保护。
Parylene涂层通过气相沉积工艺在真空室中施加，并且在涂覆过程中，聚对单体能够渗透橡胶和塑料的表面，从而提供优异的粘附性。Parylene薄而透明的柔韧特性通过保护表面和改善表面特性，提高了橡胶和弹性体组件的性能。在不降低部件功能性能的情况下进行这些改进。Parylene产生真正的保形涂层部件，在平坦的表面区域和孔的内部尺寸周围具有一致的厚度。
Parylene涂层也用于硅橡胶键盘，防止印刷图案，抵抗表面磨损，解决粘性问题，同时保护键盘免受污垢，灰尘和油污。所施加的膜具有高介电强度，并且不损害下面的橡胶组分的电绝缘性能。
Parylene coating在可见光的范围内吸收得很少，因此是透明无色的。无色透明的薄膜可用于光学器件、可擦性光电储存器件和静电复印器件。在280微米时,ParyleneN和ParyleneC的吸收都很强。
parylene coating 具有优异的电绝缘性能，对盐雾、霉菌、潮湿、腐蚀性等恶劣环境有很好的隔离防护功能，也有很好的物理机械性能，是一种坚韧、透明、有自润滑性和良好的均匀性的高分子涂敷材料。
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