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真空泵选型方法

1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力工艺要求约一个数量级。

2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

真空泵常用性能参数详注

1．抽气速率(体积流率)(s单位：m3·min-1、m3·s-1、L·s-1)

当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上的位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。

2．极限压力（极限真空）（单位：Pa/MPa/mmHg）

泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的低的稳定的压力。

3．起动压力

泵无损坏起动并有抽气作用的压力

4．前级压力

排气压力一个大气压力的真空泵的出口压力。

5．前级压力

超过了能使泵损坏的前级压力。

6．工作压力

对应抽气量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏·

7．抽气量（Q单位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）

流经泵入口的气体流量。

8．压缩比

泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

综上所述：真空泵的抽气速率和极限压力两个参量是在实际应用中选配真空泵重要的参量。

真空泵的应用

1、主泵。在真空系统中，用来获得所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽泵。从大气压开始，降低系统的压力达到另一抽气系统开始工作的真空泵，

3、前级泵用以使另一个泵的前级压力维持在其许可的前级压力以下的真空泵。前级泵也可以做粗抽泵使用。

4、维持泵。在真空系统中，当抽气量很小时，不能有效地利用主要前级泵，为此，在真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵，维持主泵正常工作或维持已抽空的容器所需之低压的真空泵。