广州潽拓光电科技有限公司——1KGAgilent分子泵维修硬件升级
测试过程
试验期间,涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ,泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行 12 个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为 2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到 7mT 。
测试结果
当磁场逐步增加后
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广州潽拓光电科技有限公司——1KGAgilent分子泵维修硬件升级
测试过程
试验期间,涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ,泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行 12 个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为 2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到 7mT 。
测试结果
当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的允许温度为 120 度)。
另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。
TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵TwisTorr 404 FS 配备 DN100 法兰,可提供 400 L/s 的抽速,对轻质气体可实现高压缩比,还配备已注册商标的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS),确保低振动和低噪音,适用于各种敏感环境。TwisTorr 404 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、、低成本的分子泵。
404 FS 是 UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温应用的选择。该泵的智能控制器可根据系统需要自动优化泵的性能。
对使用过的安捷伦扩散泵做过保养的客户都会有一种印象,与别的扩散泵经常会结满黑黑的油垢不同,安捷伦的扩散泵喷塔往往在使用好几年后也非常干净,有客户甚至猜测安捷伦的扩散泵喷塔使用了类似不粘锅的涂层。其实,这主要是因为安捷伦扩散泵喷塔上防焦化挡板设计——在每一级喷嘴的上方,都会有一个与下面的喷塔点接触的罩子,该罩子的温度比喷塔低很多,所以,从上方滴下的油滴就不会落到高温的泵塔上焦化结垢,而是滴落在低温的挡板上,这就保证了安捷伦扩散泵的喷塔可以一直很干净,不用定期费时费力清洗
一般的检漏仪只能设置大于某一漏率的报警值。因此在系统检漏时,当分流比过大却没有设置相应的分流比,或者当检漏阀门关闭或堵塞时,就有可能错过泄漏。安捷伦 HLD 系列检漏仪可以同时设置大于某一漏率和小于某一漏率的报警值。这样,当检漏仪的漏率小于经验的本底值或者预先安装的标准漏孔的值时,就会触发报警。另外,在使用自动排序器模式进行密封元器件的检漏时,除了对漏率可以同时设置大于和小于某一漏率的报警值外(使用背压法检漏的器件,当泄漏很大时,检漏仪的读数反而会很小),还可以设置长粗抽时间和检漏时间,从而尽可能地避免系统污染、漏气、堵塞等带来的误报、漏报等
安捷伦科技的真空产品涉及从科研到工业的众多应用领域,包括高能物理,半导体工艺,化学,物理分析,以及真空镀膜,热处理等众多的工业应用。产品主要包括:机械泵、涡旋式干泵、分子泵、离子泵、扩散泵、氦质谱检漏仪、阀门、真空测量及配件等。无论是用于研发的灵活可靠的系统,还是用于常规工业真空加工的热处理系统,或适合在车间中实时检测泄露的的便携解决方案,安捷伦都可提供相应的解决方案。
安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪专为简便易用和优化性能而设计,其预置了 6 个应用设置,每个应用可设置 3 组报警值,通过简择,即可完成应用设置或者在不同应用间切换。对于大多数常见应用(吸、氦气喷、高灵敏度和自动排序器等),用户可以访问合适的应用界面并按照向导正确设置参数,如此便避免了时间的浪费或造成严重错误的可能。
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