Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
随着物联网
防潮派瑞林镀膜
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
随着物联网成为现实,各类传感器应用也越来越广泛,如智慧城市、智慧、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备等,且用于各种复杂环境和环境中。用于这些恶劣环境中的传感器,无疑会出现生锈、腐蚀、受潮等现象,致使工作。
对于电子产品防腐蚀处理,常见的一般为传统的三防处理。传统三防材料一般是通过喷涂或电镀的方式来完成的,常见的传统三防材料有聚氨酯、环氧树脂、UV胶、有机硅、类,这些材料分子颗粒较大,喷涂之后形成的膜层不够致密,很容易让有腐蚀性的液体或气体分子进入,腐蚀金属表面,影响正常工作。
作为电子电路的防护涂层,Parylene不需另加防霉剂,本身防霉能达零级。在盐雾实验中,与其它涂层相比,Parylene防护的电路电阻几乎不下降,其它涂层则都有较大的下降。很薄的Parylene涂层能提供优异的防护性能,还有利于电路板工作热量的消散,因此作为防护涂层Parylene能使电路具有更高的可靠性,特别是小型高密集度电子电路的防护,Parylene更显示出其到的优势。
parylene真空覆膜工艺技术的优点是:由于Parylene是一种的具有热后可塑性聚合体,Parylene涂层过程是在室温、真空状态下进行,因而,能够渗透并覆盖在需处理的物体上,成膜均匀一致、透明;因为是干态过程,无催化剂或存在,无流挂、流失等液体涂层常见的涂层缺陷,是真正的无涂层膜, 具有极高的绝缘强度和耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防潮、防锈、透明、防水、抗老化、生物相容性等作用;
Parylene沉积过程为步在约150℃温度下将固态原料对二进行蒸发,第二步是在680℃温度下裂解生成稳定的活性单体,然后活性单体进入室温状态下的沉积室进行聚合沉积,瞬间吸附在基体上聚合成为Parylene薄膜。剩余的气体经冷阱捕集,以避免沉积物进入真空泵。
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