洁净室的分类
层流式(Laminar)： 层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。其型式可分为二种：(1)水平层流式：水平式空气自过滤器
夹芯板价格
洁净室的分类
层流式(Laminar)：层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。其型式可分为二种：(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
净化工程洁净室的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及，ULSI制程大都采用此种型式。现代经济发展迅速，以微电子、生物工程、精密机加为代表的科学实验和高科技生产过程，对产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性提出了更高的要求。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
净化工程的行业应用
净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业，目前在电子信息、半导体、光电子、精密制造、卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用，并根据行业的精密与无尘要求，等级差别也较大。
目前级别高的当属航天航空的航空仓，基本是属于1级，属于特殊领域，面积相对较小。
净化车间
另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间，物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。
随着电子元器件向微小化方向发展，液晶面板已经升级至第八代，行业需求非常巨大。
洁净室——照度控制
由于洁净室内的工作内容大都有精细的要求，而且又都是密闭性房屋，所以对照明一向有很高的要求。这里有必要先说明一下无窗洁净室的照明方式：
(1)一般照明
它指不考虑特殊的局部需要，为照亮整个被照面积而设置的照明。 (2)局部照明
这是指为增加某一zhi定地点（如工作点）的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。
（作者： 来源：）
