早期作为商品出现的是1965年英国剑桥仪器公司生产的台SEM，它用二次电子成像，分辨率达25 nm，使SEM进入了实用阶段。1968年在美国芝加哥大学，Knoll 成功研制了场发射电子，并将它应用于SEM，可获得较高分辨率的透射电子像。1970年他发表了用扫描透射电镜拍摄的铀和钍中的铀原子和钍原子像，这使SEM又进展到一个新的领域。
扫描电子显微镜是一种多功能的仪器,具有很多优越的
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早期作为商品出现的是1965年英国剑桥仪器公司生产的台SEM，它用二次电子成像，分辨率达25 nm，使SEM进入了实用阶段。1968年在美国芝加哥大学，Knoll 成功研制了场发射电子，并将它应用于SEM，可获得较高分辨率的透射电子像。1970年他发表了用扫描透射电镜拍摄的铀和钍中的铀原子和钍原子像，这使SEM又进展到一个新的领域。
扫描电子显微镜是一种多功能的仪器,具有很多优越的性能,是用途为广泛的一种仪器,它可以进行如下基本分析:(1)三维形貌的观察和分析; (2)在观察形貌的同时,进行微区的成分分析。 ①观察纳米材料。所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或微晶尺寸在0. 1～100 nm范围内,在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。纳米材料具有许多与晶态、非晶态不同的、的物理化学性质。纳米材料有着广阔的发展前景,将成为未来材料研究的重点方向。扫描电子显微镜的一个重要特点就是具有很高的分辨率,现已广泛用于观察纳米材料。
进行动态观察。在扫描电子显微镜中,成象的信息主要是电子信息。根据近代的电子工业技术水平,即使高速变化的电子信息,也能毫不困难的及时接收、处理和储存,故可进行一些动态过程的观察。如果在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件,则可以通过电视装置,观察相变、断裂等动态的变化过程。10从试样表面形貌获得多方面资料。
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