广州潽拓光电科技有限公司——TV70Agilent分子泵维修升级改造
滑阀式真空泵市场
国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。
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TV70Agilent分子泵维修升级改造
广州潽拓光电科技有限公司——TV70Agilent分子泵维修升级改造
滑阀式真空泵市场
国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。
广州潽拓光电科技有限公司——TV70Agilent分子泵维修升级改造维修问题
分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？
答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要仪器和特定的测试环境
分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？
答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是佳方式？
答：电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？
答：原因：电压低
分子泵市场
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。
油池安装注意事项 ①、拆油
②、油量控制
③、油池卫生，防颗粒
④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏
安捷伦真空可以生产多种类型的离子泵。采用设计的安捷伦SEM离子泵，具有更加稳定的压力读数，以及更少的粒子产生，特别适合安装于电子处（电子处对温度、磁场的要求都比较高，一般的冷阴极或热阴极真空计对其正常工作会有影响，而普通的离子泵测量的压力偏差又比较大）。安捷伦真空独有的StarCell离子泵在保留较高活性气体抽速的同时，还具有相当高的惰性气体抽速，一般将其安装于镜筒的下部，与电子上的SEM离子泵相结合，为电子显微镜提供一个强大的高真空抽气组合。
安捷伦傅里叶变换红外光谱系统还配置了内含 142 种标准类化合物的红外谱库，在对疑似类物质进行检测时，仅需调用带有谱库的方法采集谱图，短短几十秒即可确认未知物是否为类物质。该谱库严格按照规矩设计，能够满足、邮政、海关及相关部门的检测需求。且仪器体积小巧，在用户有特殊需求时，可作为移动测量设备置于测量现场；如在实验室内使用时，为保护测量人员的安全，也可将其置于通风橱或手套箱内使用。
安捷伦真空：分子泵使用中的注意事项：
分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。
安捷伦提供TPS Mini紧凑型、TPS Flexy自由组合式、TPS Compact便携式、TPS Bench台式、TPS Mobile可移动式5种分子泵机组，形式多样，可根据客户应用和需求进行选择。前级泵分油式和干式两类，前级油封旋片泵的抽速范围从1.8-20.5m3/h，前级干泵提供的抽速范围从0.6-30m3/h，极大的满足了不同客户的应用需求。配置的FRG700全量程主动式真空计为皮拉尼和冷阴极组合式真空计，测量范围从大气至5*10-9mabr，满足了一测量真空的应用需求，简单方便。多功能，变化的样品架，可以测量固体、薄 膜、粉末以及液体样品。
安捷伦扩散泵特点用冷却水少，对冷却水温度要求不高与普通的扩散泵相比，同样规格的泵，安捷伦扩散泵仅需要50%甚至更低的冷却水流量。而且，安捷伦扩散泵对冷却水的温度要求不高，只要保证排放温度不高于54度即可，当水压较低排水温度高于54度时，还可以采用将冷却水管并联的方式扩展使用区间。
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