厦门龙筹机电有限公司是一家致力于真空泵设备销售、真空泵配件、安装及保养维修、真空机组系统设计与制作等的企业。经营有贝克becker真空泵,Rietschle里其乐真空泵,Leybold 莱宝真空泵,Busch普旭真空泵,Edwards 爱德华真空泵等,欢迎来电咨询!
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引
真空泵机组
厦门龙筹机电有限公司是一家致力于真空泵设备销售、真空泵配件、安装及保养维修、真空机组系统设计与制作等的企业。经营有贝克becker真空泵,Rietschle里其乐真空泵,Leybold 莱宝真空泵,Busch普旭真空泵,Edwards 爱德华真空泵等,欢迎来电咨询!
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。
真空预冷装置中使用的真空泵大多为旋片式真空泵。虽然带有空气压载装置的旋转叶片泵可以泵出含有少量水蒸气和大量性气体的混合气体,但在真空预冷过程中,由于蔬菜内部的水分蒸发,大量水蒸气将被泵入旋转叶片泵,水蒸气将在泵腔内冷凝。
这将导致真空泵润滑油乳化变质,严重影响真空泵能达到的极限压力,降低润滑性能,加剧磨损,无法正常工作,甚至严重锈蚀泵体、转子等部件,导致整机报废。因此,建议在真空预冷装置中使用罗茨真空泵。
由于水环泵被用来抽除或含尘含水的气体,在工作时只要向泵体中装有适量的水作为工作液可以按照当叶轮按图中指示的方向顺时针旋转时水会被叶轮抛向四周,在离心力的作用下水液又可以形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环而且正是因为水环的上部分内表面与叶轮轮毂相切并且下部内表面刚好与叶片顶端接触。
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