厦门龙筹机电有限公司是一家致力于真空泵设备销售、真空泵配件、安装及保养维修、真空机组系统设计与制作等的企业。经营有贝克becker真空泵,Rietschle里其乐真空泵,Leybold 莱宝真空泵,Busch普旭真空泵,Edwards 爱德华真空泵等,欢迎来电咨询!
在复合分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,
旋片真空泵
厦门龙筹机电有限公司是一家致力于真空泵设备销售、真空泵配件、安装及保养维修、真空机组系统设计与制作等的企业。经营有贝克becker真空泵,Rietschle里其乐真空泵,Leybold 莱宝真空泵,Busch普旭真空泵,Edwards 爱德华真空泵等,欢迎来电咨询!
在复合分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。因此,在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构,以提高泵的抽气性能。
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。
真空预冷装置中使用的真空泵大多为旋片式真空泵。虽然带有空气压载装置的旋转叶片泵可以泵出含有少量水蒸气和大量性气体的混合气体,但在真空预冷过程中,由于蔬菜内部的水分蒸发,大量水蒸气将被泵入旋转叶片泵,水蒸气将在泵腔内冷凝。
这将导致真空泵润滑油乳化变质,严重影响真空泵能达到的极限压力,降低润滑性能,加剧磨损,无法正常工作,甚至严重锈蚀泵体、转子等部件,导致整机报废。因此,建议在真空预冷装置中使用罗茨真空泵。
罗茨真空泵使用时,机身会震动,轻微的振动不会对机器产生任何不良影响,但如果振动频率过高,机器就会损坏。
真空工艺的要求及真空泵质量的改善,目前的三叶罗茨真空泵在以往的基础上加以改善,稳定机身,真空度稳定等是我们的特点,但很多传统的罗茨真空泵,依旧存在使用时震动及真空度不稳定等问题。
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