氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏仪应用不锈钢保温器皿
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氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏仪应用不锈钢保温器皿：真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。检漏仪高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据；自动生成数据保存，可追溯数据来源。氦气检漏仪关键零部件集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、；质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
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