洁净室气流流向检测
一、 测试目的
平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。
二、 测试方法
一般而言平行度的测量，是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、PFA 、和轻质棉线。。烟雾或水雾的共同优点是
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洁净室气流流向检测
一、 测试目的
平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。
二、 测试方法
一般而言平行度的测量，是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、PFA 、和轻质棉线。。烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小，烟雾可随风飘扬，可正确的反映气流运动模式。但是其共同问题是滞空性不足，观测时间太短。测量平行度需要花一些时间，因此需要大量烟雾或水雾，对无尘室可能造成污染。另一种方式是使用轻质细线，让细线随风飘舞，然后测量气流平行度。在无尘室内普遍使用新的高分子材料 Flo-Viz ，是用尼龙抽成单丝所制成，由于质量很轻因此适合作无尘室平行度测量。测量平行度的方法是立一根铅垂线，然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线，之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角，或是测量细线与铅垂线的夹角，就可决定气流的平行度。
洁净室检测围护结构等表面的维护与清洁
首先是洁净室的墙面、地面、顶棚等维护结构，在设计、施工中要选用表面光洁、质地坚实、不产尘、少积尘、耐清洗等符合质量要求的材料。要求它们在频繁地擦拭、洗涤等清洁、消毒的条件下，表面不变粗糙或多孔，否则会存留微粒和化学污染物，或容易导致微生物污染。
在设计、施工中应保证洁净室内的墙面、地面、顶棚、门、空气扩散板和地漏等都是易于进行表面清洁的。而且还应把墙面、地面、顶棚等的接缝处的细节考虑在内，特别要避免出现有可能积留水分的地方或表面。
洁净室检测对空气温度检测仪器的要求
1.玻璃温度计，玻璃温度计由感温包、温度计茎、毛细管、和储液包组成如图 所示。其测温原理主要为感温包内的液体受热后体积膨胀，从而液体在毛细管中的高度产生变化。玻璃温度计的特点是直观、成本低廉、精度高等特点。但由于测温时间较长。因此在洁净室工程验收中使用玻璃温度计进行温度测试时需要耗费很多时间。
2.数字温度计，数字温度计通常有温度传感器和显示装置组成。在测试过程中可以选择 所示的手持式温湿度计，也可以选择传感器和显示仪表来集成使用更加方便的数字温度计。常用的温度传感器有热电偶、铂电阻。
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