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真空泵罗茨真空泵

罗茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。如：水环式真空泵，滑阀真空泵，立式无油真空泵，分子真空泵等。国内罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。

真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵组轴承温度会异常过高的原因

水环真空机组高负荷运行后，轴承部件的温度会持续升高，甚至超过规定的范围值，如果不及时处理轴承温度升高的问题，会对设备造成严重损失，甚至导致设备无法正常运行。如果加油量不当，润滑脂过少或过多，轴承箱应根据工作要求定期加油，轴承加油后，有时温度较高，主要是加油过多。此时，现象是温度继续上升到达某一点后将保持不变，然后逐渐下降。

水环真空机组的润滑油选择不合适，不易形成均匀的润滑油膜，不能减少轴承内部的摩擦和磨损，润滑不足，轴承温度升高。当不同类型的油混合时，可能会发生化学反应，导致油变质。结块，以减少润滑效果。油污染也会增加轴承温度，在加油过程中落入灰尘，造成油污染，导致轴承箱内油变质，破坏轴承润滑，温度升高。所以应选择合适的油，清洁轴承箱和轴承，检查和疏浚加油管道，不同型号的油不得混合。更换其他型号的油时，应先清理，定期加油，妥善保管防潮防尘措施。