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洁净室检测-采样量

不同洁净度级别的洁净室,其采样量是不同的,采样量涉及到粒子计数器的采样量和采样时间,关键是粒子计数器的采样速率。现行的<施工质量验收规范>中规定,粒子计数器应使用采样流率大于1L/min,小的采样流率的粒子计数器用于单向流洁净室(5级以上),其测量的结果误差较大,即使采用延长采样时间提高采样量也消除不了测量误差。因此,对于单向流洁净室的洁净度测定,应采用采样流率为2.83L/min的粒子计数器比较适宜。不同级别的洁净室每次采样的小采样量应符合下表所列的数量。

洁净室检测点的布置

根据人民共和标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定:在对净化车间进行洁净度检测时，检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点，测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅布置在一净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2布置5个测点。

洁净室压差检测

1.U 型气压计由于形状像英文大写字母 U 字而得名。实际上 U 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。加入液体后，一头与大气连通，另一头与被测的气体连通。利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的大气压数值，就可以得到被测的气压值。

2.斜管微压计可以理解为 U 型压力计的变形。一般情况，U 型压力计的玻璃管垂直读数，斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后，同样的压差在玻璃管中显示的距离较大，读数的度较高。所以与 U 型压力计比较，斜管微压计的读数度要高一些。斜管压力计的工作原理图如图 2-37 所示，斜管压力计通常由一个可变化倾角且带有刻度的玻璃细管和底部与其相通的容器构成。容器顶部和斜管的另一端分别设有接入口。斜管压差计由于其斜管倾斜角度 a 的的可调性，它在 a 角较小时，微小压差在斜管上就对应较长的 l 值。压差的微小变化，都能从 l 值的变化灵敏的辨认，因此常用于测微压差。

3.电子微压计一般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值，如图 2-39。以膜片位移所产生的静电电容或电阻的变化，测定一个空间与其周围环境间的压差值，并显示或输出该值。常见的电子微压计与上述膜片式压力计相同之处在于，它同样是依据膜片在两侧不同压力作用下所形成的位移量来反映膜片两侧的压力差；不同之处在于它不是依据机械方式，而是依靠测定膜片位移而产生的静电电容或电阻的变化量来反映所测压差的大小。