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洁净室采样检测

采样点数口：对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数不得少于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。

采样点位置：1.采样点一般离地0.8m高度的水平面上均匀布置。洁净工作台采样点一般在工作台面上0.2m高度的水平面上均匀布置。

2.采样点多于5点时，可在0.8m~1.5m(略高于工作面）高度的区域内分层布置，但每层不少于5点。

洁净室污染源传播的途径

不但要弄清洁净室的污染源是哪些，其污染途径同样需要分析清楚。从大的方面来看，洁净室的污染粒子主要是通过空气传播与接触传播。但在很多情况下，这两种传播途径是交替存在的、协同传播的。所有的主要污染源都会将所发生、携带的污染粒子散布到空气中，微小的粒子会在空气中扩散，或随气流运动并接触到洁净室的产品或研究对象而构成污染。这些微粒子还可能粘附在墙面、地面、设备表面上，因人员操作、走动或气流的扰动又重新扩散到空气中去，形成二次污染。

较大的粒子如碎屑、细末和纤维，不会远离其生成的地点，但也存在掉落在产品、产品构件之中,或者附着在它们的表面上构成污染。这些粒子还会掉落﹑粘附在操作人员的手套、服装上，随后又污染了其他的产品和洁净室表面。

但机器设备、容器、包装、原材料、手套、服装等与产品直接接触时，附着其上的污染物就可以通过“接触”这个途径传播给产品。

洁净室的气流组织

洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势，与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是必要措施之一。