热场是单晶硅成晶的重要条件之一,热场的梯度分布直接影响着能不能拉出单晶,以及拉制单晶的质量好坏,其材质好坏直接影响热场寿命。与石金合作结合国内外石墨材料一同研制成功18-22寸石墨热场,并与石金成立了自己的石墨热场生产基地。在石金等各大单晶硅生产基地长期应用,对所用石墨材料及整个热场寿命加以肯定,为以后生产定如下标准。G6+热场厂家
石墨热场
石墨热场简单的说就
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热场是单晶硅成晶的重要条件之一,热场的梯度分布直接影响着能不能拉出单晶,以及拉制单晶的质量好坏,其材质好坏直接影响热场寿命。与石金合作结合国内外石墨材料一同研制成功18-22寸石墨热场,并与石金成立了自己的石墨热场生产基地。在石金等各大单晶硅生产基地长期应用,对所用石墨材料及整个热场寿命加以肯定,为以后生产定如下标准。G6+热场厂家
石墨热场
石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。常见的是18寸的石墨热场。
热场的组成部分如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等均由石墨加工而成。
加热时间过长、石英坩堝质量不过关、原料酸碱度未达到要求,会导致漏硅和渗硅,熔硅渗入三瓣堝之间的缝隙之间冷却后一是撑坏三瓣堝,二是使三瓣堝相互粘接,在清炉时,使其分离有可能造成断裂。G6+热场厂家

热场就是热系统,在机械中一般指单晶炉石墨热场,就是单晶炉中的热系统。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。一种生产石墨热场的方法,其特征在于:包括以下步骤:在计算机上利用绘图软件进行套裁模拟设计:根据石墨坩埚、外导流筒和内导流筒所要求的尺寸用绘图软件绘出各自的二维图形,然后将石墨坩埚、外导流筒和内导流筒的二维图形套装在一起,根据石墨原材料的高度,调整各个器件之间的间隔距离以及切削量,利用绘图软件标注模拟器件的各部位的尺寸,得到一组用于器件毛坯加工的参数;G6+热场厂家

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