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工业气体的分类方法很多种，例如按照气体自身化学成分可分为：硅系、系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的效果可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相堆积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。一起，以上分类存在交叉，例如四（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，一起在化学气相堆积(CVD)中也存在运用。
二氧化碳（carbon dioxide），一种碳氧化合物，化学式为CO2，化学式量为44.0095 ，常温常压下是一种无色无味或无色无臭而其水溶液略有酸味的气体，也是一种常见的温室气体，仍是空气的组分之一（占大气总体积的0.03%-0.04%）。在物理性质方面，二氧化碳的熔点为-56.6℃（527kPa），沸点为-78.5℃，密度比空气密度大（标准条件下），溶于水。在化学性质方面，二氧化碳的化学性质不生动，热稳定性很高（2000℃时仅有1.8%分解），不能燃烧，通常也不支持燃烧，归于酸性氧化物，具有酸性氧化物的通性，因与水反响生成的是碳酸，所以是碳酸的酸酐。
干冰即固体CO2，雪白色的块状结晶(或粉状)，无光泽，不透明，在7453Pa压力下其升华温度为-78．5℃，当干冰升华为0℃气体时每公斤干冰可以吸取热量为636kJ，它的冷冻能力为冰的2倍，所以干冰是一种低温冷却剂。当它作冷冻剂时，不变成液体，而是变成CO2气体。由于干冰具有这种特性，可被用作食品，水果运输、仓库储存方便，优良的冷却剂。使用干冰清洗机进行模具清洗，工业清洗，还可以明显改善传统清洗的二次污染和安全性的问题，实现在线清洗，清洗。目前国内干冰清洗机技术已经得到长足发展。
高纯集中供气气体，具有极强毒性，入人体能导致乃至逝世。如、氨气等。气体，液态气体具有易焚烧性和化学破危险性，并有必定的毒性。如氢气、等。助燃气体，具有助燃能力，但本身不焚烧，存在扩展火灾的危险性，如集中供气等。工业气体不燃气体，对人具有窒息性，性质安稳，不焚烧，如集中供气、二氧化碳和气。工业气体的常见物理特性，可归纳为：可压缩性和胀大性。
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