选择真空泵注意事项:
1、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知旋片真空泵道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
2、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满
真空系统安装
选择真空泵注意事项:
1、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知旋片真空泵道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
2、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
东莞市三木森自动化设备有限公司是一家研发、生产、销售节能真空泵,双级节能真空泵,无油节能真空泵,无油双级节能真空泵,罗茨真空泵,螺杆真空泵,无油螺杆真空泵,真空系统,泡沫厂真空系统的厂商。节能、环保的基富产品,全系统设计与安装工程,售后、保养为一体性方案是公司核心优势。
1、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
2、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
在粉尘较多的真空工艺如何选择真空泵,才能让真空泵既能够满足工艺要求,同时又能够长期稳定的运行,延长真空泵维修维保时间,节约运行成本,保证生产设备的生产效率,保证设备产能。
在CVD、PECVD、ALD等工艺中,真空腔体会通入各种各样的工艺气体来完成产品表面薄膜工艺,这些工艺气体在反应过程中有时会大量粉尘或容易结晶,如果粉尘和结晶物不能及时排除真空泵外,就容易在真空泵内沉积,堆积到一定量时就会造成真空泵叶轮、转子等卡滞,需要及时下机保养和维护,否则的话就会造成真空泵的更大的损坏,但是干式泵的维护成本又比较昂贵,选择一台耐粉尘,维保周期长的真空泵是非常重要的。
真空泵的泵腔内压力过低,泵腔内会发作严重的汽蚀,低压无油节能真空泵,形成泵的振动、噪声过大而影响运用的时分,能够在泵的吸气区域增加一个真空调理阀,在上述状况发作时,能够恰当翻开调理阀以缓和振动和噪声的影响,或者是降低真空度,到达需求的真空度请求。该泵不适用于抽除对黑色金属有腐蚀的,对泵油起化学反应的,低压无油节能真空泵公司,含有颗粒尘埃的气体,以及含氧过高,低压无油节能真空泵哪家好,有性的有毒气体。
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